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掃描電鏡采用了先進的控制技術
掃描電鏡適用于對低頻振動較為靈敏的儀器，例如建筑物和樓層振動、光學平臺晃動帶來的低頻振動，使用隔震平臺，可使其降至傳統(tǒng)隔離設備如氣墊隔振所未能 達到的水平，從而使得對這些振動較為敏感的儀器或設備以穩(wěn)定的狀態(tài)運行。
掃描電鏡優(yōu)異的隔振效果使其應用范圍廣泛，適用于所有需要進行隔振的實驗平臺，目前為止，已應廣泛用在包括納米技術、生物科學、半導體、材料研究、航天器零重力模擬以及音頻等領域。掃描電鏡在高真空的鏡筒中，由電子槍產生的電子束經(jīng)電子會聚透鏡聚焦成細束后，在樣品表面逐點進行掃描轟擊，產生一系列電子信息( 二次電子 、背反射電子、透射電子、吸收電子等)，由探測器將各種電子信號接收后經(jīng)電子放大器 放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管。
掃描電鏡對樣品表面掃描時，由于樣品不同部位表面的物理、化學性質、表面電位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同，導致顯像管的電子束強度也隨著不斷變化，在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結構相對應的圖像。掃描電鏡根據(jù)探測器接收的電子信號的不同，可分別獲得樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像、吸收電子圖像等。
掃描電鏡分辨率可達50~100，電子放大倍數(shù)可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍，因此可以對樣品的整個表面進行比較仔細的觀察。掃描電鏡是一種新型的電子光學儀器，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表 面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產生樣品表面放大的形貌像，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。
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