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由于現(xiàn)在電子產(chǎn)品越來越精密，因此不僅僅是潔凈室中的無機(jī)微粒，而且包括室內(nèi)建筑材料，儀器制造設(shè)備，以及源自人體的有機(jī)物成分都納入了監(jiān)控指標(biāo)。
潔凈室中常用甲氧基丙酮, 二氯氟甲烷和醋酸作為溶劑。二甲基硅低聚物（N = 5）是潔凈室施工過程中使用的填隙料的揮發(fā)性成分之一。
GCMS將氣相色譜和質(zhì)譜結(jié)合起來，可以地測定出這個物質(zhì)是什么（定性）以及有多少（定量）。它通常用在不用應(yīng)用中的痕量成分分析中，包括環(huán)境，電子設(shè)備和半導(dǎo)體，化學(xué)，藥品，食品，殘留農(nóng)藥以及生物化學(xué)等。
有效應(yīng)對以往GC或GCMS難以分析的天然產(chǎn)物等復(fù)雜樣品的分離分析。
· 食品
· 香精香料
· 環(huán)境
· 石油化工等
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