SF6氣體微量水分（微量濕度）的分析需要用到露點(diǎn)儀。儀器不同測試方法也不同。

比如利用阻容法檢測。它又稱之為電阻法，根據(jù)樣品中水分與電阻值和電容值的定量關(guān)系，將電阻值或電容值轉(zhuǎn)換成可測電量，通過對電量的測量得出被測樣品中的水分值。

冷鏡法的測試通過測定在單位時(shí)間內(nèi)離開和返回鏡面的水分子數(shù)達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)的鏡面溫度來確定氣體的露點(diǎn)。一定的氣體濕度對應(yīng)一個(gè)露點(diǎn)溫度；一個(gè)露點(diǎn)溫度對應(yīng)一定的氣體濕度。因此測定氣體的露點(diǎn)溫度就可以測定氣體的濕度。由露點(diǎn)可以得到濕度，由露點(diǎn)和所測氣體的溫度可以得到氣體的相對濕度。

兩種測量方法都對是不同的測量儀器。阻容法用的是阻容法SF6氣體露點(diǎn)儀，采用阻容測量原理 （芬蘭維薩拉DMT系列傳感器）通過測量電抗的變化，可以得知被測氣體中濕度的大小。電力系統(tǒng)常用的阻容式濕度計(jì)一般檢測范圍為一60-O℃（露點(diǎn)），該類傳感器響應(yīng)速度快，特別適合現(xiàn)場的連續(xù)在線檢測。

冷鏡法的露點(diǎn)儀采用自動(dòng)冷鏡測量 （斯特林制冷原理）的測量方法，可以在環(huán)境溫度高達(dá)60℃的各種環(huán)境下，以露點(diǎn)±0.2℃的測量精度進(jìn)行SF6氣體的微量水分檢測。通過光學(xué)系統(tǒng)，測溫電路，邏輯控制電路、數(shù)字顯示電路等，測量露點(diǎn)溫度Td，并顯示出來。

通過測試方法可以去選擇相應(yīng)的露點(diǎn)儀，不管哪一款露點(diǎn)儀首先是要看準(zhǔn)儀器的精度，精度達(dá)標(biāo)測試數(shù)據(jù)才能標(biāo)準(zhǔn)。