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真空鍍碳儀是一個緊湊的，易于使用的鍍碳儀，主要用來給不導(dǎo)電的樣品鍍一層碳膜，用于掃描電鏡能譜分析的Zui成熟的鍍碳儀之一。
真空鍍碳儀為SEM、TEM、STEM、EDS/WDS、EBSD和微探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜技術(shù)。系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，所占空間小。樣品室直徑150mm，可快速抽真空進行鍍膜處理，處理周期約10分鐘。高真空條件下使用超純的碳棒為嚴格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡、EBSD及探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜處理。組件設(shè)計方式可方便地對不同優(yōu)化條件下的各種應(yīng)用進行切換。
真空鍍碳儀的使用步驟：
電控柜操作：
1、開水泵、氣源。
2、開總電源。
3、開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。
4、開機械泵、預(yù)抽，開渦輪分子泵電源、并啟動，真空計開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。
5、觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達250以后，關(guān)預(yù)抽，開前級泵和高真空閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能打開電子槍電源。
操作：
1、總電源。
2、同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān)，延時、電源及保護燈亮，三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護燈會常亮。
3、開高壓，高壓會達到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。
關(guān)機順序：
1、關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。
2、待分子泵顯示到50時，依次關(guān)高閥、前級、機械泵，這期間約需40分鐘。
3、到50以下時，再關(guān)維持泵。
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