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表面形貌儀采用的白光共聚焦技術(shù)，Zui高掃描速度可達(dá)1m/s，可實(shí)現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，測量不受樣品反射率和光的影響，測量簡單，可用于測量大尺寸樣品，如透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料等，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)。
測量原理：
低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收，由于探測器直接與信號處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接，所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出，成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。
在工業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域：
食品安全在線檢測。
微電子集成電路表面形貌在線檢測。
印刷電路板品質(zhì)檢測。
零件器件表面劃痕損傷檢測。
微機(jī)械精加工質(zhì)量控制，如鐘表，微機(jī)械器件等。
電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控，如手機(jī)，筆記本電腦，平板等。
微流體器件三維形貌檢測。
在線檢測設(shè)備集成。
證件防偽，安檢。
技術(shù)特點(diǎn)：
1、每秒一百萬張二維圖像。
2、無損表面形貌檢測和分析。
3、高精度在線/離線檢測。
4、模塊化設(shè)計(jì)，超高集成靈活性。
5、無需苛刻的工作環(huán)境（振動，噪聲，溫度等）。
6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域。
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