表面形貌儀采用的白光共聚焦技術(shù),Zui高掃描速度可達(dá)1m/s,可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試,具有測(cè)量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量不受樣品反射率和光的影響,測(cè)量簡(jiǎn)單,可用于測(cè)量大尺寸樣品,如透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料等,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)。
測(cè)量原理:
低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面,被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測(cè)器接收,由于探測(cè)器直接與信號(hào)處理芯片(Smart Pixel技術(shù))連接,所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號(hào)都在芯片中完成鎖相放大,背景信號(hào)補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出,成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測(cè)量。
在工業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域:
食品安全在線檢測(cè)。
微電子集成電路表面形貌在線檢測(cè)。
印刷電路板品質(zhì)檢測(cè)。
零件器件表面劃痕損傷檢測(cè)。
微機(jī)械精加工質(zhì)量控制,如鐘表,微機(jī)械器件等。
電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控,如手機(jī),筆記本電腦,平板等。
微流體器件三維形貌檢測(cè)。
在線檢測(cè)設(shè)備集成。
證件防偽,安檢。
技術(shù)特點(diǎn):
1、每秒一百萬(wàn)張二維圖像。
2、無(wú)損表面形貌檢測(cè)和分析。
3、高精度在線/離線檢測(cè)。
4、模塊化設(shè)計(jì),超高集成靈活性。
5、無(wú)需苛刻的工作環(huán)境(振動(dòng),噪聲,溫度等)。
6、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域。
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