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真空氣氛爐真空檢漏的目的

來源:上海特犇電子科技有限公司   2020年04月27日 10:17  
  真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。下面我們來了解下真空氣氛爐的事項。
 
  真空氣氛爐中真空系統(tǒng)的氣密性表征了防止氣體滲漏的性能,包括漏孔(或間隙)的漏氣和材料的滲氣,其優(yōu)劣通常用漏率表示。漏率是單位時間內(nèi)流過漏孔(包括間隙)的氣體量。在標(biāo)準(zhǔn)中,漏率定義為:漏孔入口壓力為1*0.1*105Pa,出口壓力低于1.33*103Pa,溫度為23℃±7℃的標(biāo)準(zhǔn)條件下,露點溫度低于﹣25℃的空氣,單位時間內(nèi)流過漏孔的氣體量。
 
  真空檢漏的目的,不僅是判斷系統(tǒng)是否漏氣,定量地檢測出漏率的大小,更重要的是找出漏孔的位置或漏氣原因,以便采取措施進(jìn)行修補。真空檢漏的基本原理是利用真空系統(tǒng)內(nèi)外的壓差使氣體流動并運用一定的技術(shù)手段檢測出漏孔的位置。真空系統(tǒng)內(nèi)部充有高于大氣壓力的氣體,使氣體由內(nèi)向外流動進(jìn)行檢漏的方法稱為正壓檢漏法,檢漏儀器探頭從外部探測示漏氣體,從而確定漏孔位置及漏率。把真空系統(tǒng)抽成真空,從外部用噴嘴向系統(tǒng)噴射示漏氣體,使氣體由外向內(nèi)流動,觀察檢漏儀讀書變化,從而確定漏孔位置及漏率,這種檢漏稱為負(fù)壓檢漏法,也可稱為真空檢漏法。

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