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表面形貌儀常用技術(shù)有以下三種

來源:孚光精儀(中國)有限公司   2020年04月27日 10:36  
   表面形貌儀可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭,也可配備普通變焦鏡頭,使得該系統(tǒng)能同時滿足細(xì)觀及宏觀的測量要求。該儀器不僅可用于微電子、生物、微機械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量,也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。適用于科研院所、大專院校、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室、車間。
 
  使用優(yōu)勢:
  表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀,Zui高掃描速度可達(dá)1m/s,采用白光共聚焦技術(shù),可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點,該儀器可用于測量大尺寸樣品或質(zhì)檢現(xiàn)場使用。
 
  產(chǎn)品特性:
  1、采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率。
  2、測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高。
  3、測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料。
  4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面。
  5、不受樣品反射率的影響。
  6、不受環(huán)境光的影響。
  7、測量簡單,樣品無需特殊處理。
 
  表面形貌儀常用技術(shù):
  1、掃描電子顯微鏡:掃描電子顯微鏡利用聚焦得非常細(xì)的電子束作為電子探針。當(dāng)探針掃描被測表面時,二次電子從被測表面激發(fā)出來,二次電子的強度與被測表面形貌有關(guān),因此利用探測器測出二次電子的強度,便可處理出被測表面的幾何形貌。
  2、機械探針式測量:探針式輪廓儀測量范圍大,測量精度高,但它是一種點掃描測量,測量費時。機械探針式測量方法是開發(fā)較早、研究充分的一種表面輪廓測量方法。它利用機械探針接觸被測表面,當(dāng)探針沿被測表面移動時,被測表面的微觀凹凸不平使探針上下移動,其移動量由與探針組合在一起的位移傳感器測量,所測數(shù)據(jù)經(jīng)適當(dāng)?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y表面的輪廓。機械探針是接觸式測量,易損傷被測表面。
  3、光學(xué)探針式測量:光學(xué)探針式測量方法原理上類似于機械探針式測量方法,只不過探針是聚集光束。根據(jù)采用的光學(xué)原理不同,光學(xué)探針可分為幾何光學(xué)原理型和物理光學(xué)原理型兩種。幾何光學(xué)探針利用像面共軛特性來檢測表面形貌,,有共焦顯微鏡和離焦檢測兩種方法:物理光學(xué)探針利用干涉原理通過測量程差來檢測表面形貌,有外差干涉和微分干涉兩種方法。光學(xué)探針是非接觸測量,,但需要一套高精度的調(diào)焦系統(tǒng)。

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