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表面形貌儀可用于物體表面三維形貌和變形測(cè)量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時(shí)滿足細(xì)觀及宏觀的測(cè)量要求。該儀器不僅可用于微電子、生物、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測(cè)量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測(cè)量。適用于科研院所、大專院校、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室、車間。
使用優(yōu)勢(shì)：
表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀，Zui高掃描速度可達(dá)1m/s，采用白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器可用于測(cè)量大尺寸樣品或質(zhì)檢現(xiàn)場(chǎng)使用。
產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率。
2、測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高。
3、測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料。
4、尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面。
5、不受樣品反射率的影響。
6、不受環(huán)境光的影響。
7、測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無需特殊處理。
表面形貌儀常用技術(shù)：
1、掃描電子顯微鏡：掃描電子顯微鏡利用聚焦得非常細(xì)的電子束作為電子探針。當(dāng)探針掃描被測(cè)表面時(shí)，二次電子從被測(cè)表面激發(fā)出來，二次電子的強(qiáng)度與被測(cè)表面形貌有關(guān)，因此利用探測(cè)器測(cè)出二次電子的強(qiáng)度，便可處理出被測(cè)表面的幾何形貌。
2、機(jī)械探針式測(cè)量：探針式輪廓儀測(cè)量范圍大，測(cè)量精度高，但它是一種點(diǎn)掃描測(cè)量，測(cè)量費(fèi)時(shí)。機(jī)械探針式測(cè)量方法是開發(fā)較早、研究充分的一種表面輪廓測(cè)量方法。它利用機(jī)械探針接觸被測(cè)表面，當(dāng)探針沿被測(cè)表面移動(dòng)時(shí)，被測(cè)表面的微觀凹凸不平使探針上下移動(dòng)，其移動(dòng)量由與探針組合在一起的位移傳感器測(cè)量，所測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)適當(dāng)?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y(cè)表面的輪廓。機(jī)械探針是接觸式測(cè)量，易損傷被測(cè)表面。
3、光學(xué)探針式測(cè)量：光學(xué)探針式測(cè)量方法原理上類似于機(jī)械探針式測(cè)量方法，只不過探針是聚集光束。根據(jù)采用的光學(xué)原理不同，光學(xué)探針可分為幾何光學(xué)原理型和物理光學(xué)原理型兩種。幾何光學(xué)探針利用像面共軛特性來檢測(cè)表面形貌,，有共焦顯微鏡和離焦檢測(cè)兩種方法：物理光學(xué)探針利用干涉原理通過測(cè)量程差來檢測(cè)表面形貌，有外差干涉和微分干涉兩種方法。光學(xué)探針是非接觸測(cè)量,，但需要一套高精度的調(diào)焦系統(tǒng)。
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