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提供單晶薄膜材料的外延,尺寸可定制

來源:西安齊岳生物科技有限公司   2020年05月09日 10:21  

提供單晶薄膜材料的外延,尺寸可定制

西安齊岳生物科技有限公司提供A-Z系列或者國(guó)產(chǎn)的薄膜,尺寸可定制;基底的薄膜;高;有關(guān)資料歡迎咨詢。同時(shí)提供二維材料;石墨烯、氮化硼、二硫化鉬、CVD生長(zhǎng)的薄膜、晶體、異質(zhì)結(jié)、薄膜(藍(lán)寶石、PET、銅膜、石英、云母、銀膜、SOI基底、Si玻璃基底)等材料。


單晶材料的外延:

外延(Epitaxy, 簡(jiǎn)稱Epi)工藝是指在單晶襯底上生長(zhǎng)一層跟襯底具有相同晶格排列的單晶材料,外延層可以是同質(zhì)外延層(Si/Si),也可以是異質(zhì)外延層(SiGe/Si 或SiC/Si等);同樣實(shí)現(xiàn)外延生長(zhǎng)也有很多方法,包括分子束外延(MBE),高真空化學(xué)氣相沉積(UHV/CVD),常壓及減壓外延(ATM & RP Epi)等等。

提供單晶薄膜材料的外延,尺寸可定制

根據(jù)生長(zhǎng)方法可以將外延工藝分為兩大類(表1):全外延(Blanket Epi)和選擇性外延(Selective Epi, 簡(jiǎn)稱SEG)。工藝氣體中常用三種含硅氣體源:硅烷(SiH4),二氯硅烷(SiH2Cl2, 簡(jiǎn)稱DCS) 和三氯硅烷(SiHCl3, 簡(jiǎn)稱TCS);某些外延工藝中還要用到含Ge和C的氣體鍺烷(GeH4)和甲基硅烷(SiH3CH3);選擇性外延工藝中還需要用到刻蝕性氣體氯化氫(HCl),反應(yīng)中的載氣一般選用氫氣(H2)。


產(chǎn)品擴(kuò)展:

硅片上的金剛石氮化鋁薄膜

Si上鍍Al薄膜(Aluminum?Film?on?Silicon?Wafer)

Si-Al復(fù)合薄膜

Si片外延AIN薄膜?(Si+AlN dia4"):

Si襯底上AlN外延薄膜

Si+SiO2+Cr+Au薄膜:

(Au,Si)/SiO2復(fù)合納米顆粒薄膜

Si/SiO2/Cr/Au復(fù)合薄膜

AL2O3+Al(0.1)Ga(0.9)N 薄膜

Al2O3+Al0.1GaN0.9薄膜N型不摻雜

Nb:SrTiO3+Ba1-xSrxTiO3薄膜

Ba1-xTiO3型薄膜  400nm

摻鈮SrTiO3基片 400nm單面拋光薄膜

Nb: SrTiO3+BiFeO3薄膜

Nb: SrTiO3+BiFeO3薄膜 10x10 x 0.5 mm

SrTiO3襯底上BiFeO3薄膜

Nb∶SrTiO3單晶基片上外延生長(zhǎng)BaTiO3薄膜

Fe3O4/BiFeO3復(fù)合薄膜

Si+SiO2+Ta+Cu薄膜

Si/SiO2/Ta/Cu薄膜

Cu/Ta/SiO2/Si薄膜

Si襯底上Ta-N/Cu薄膜

Si+SiO2+Ti+Au薄膜

Si/SiO2/Cr/Au/Ti 襯底薄膜

鍍金硅片鍍鉑硅片ptPt/Ti/SiO2/Si

Si+GaN薄膜:

別稱:Si 晶圓外延 Gan 薄膜 (si + Gan 薄膜)

Si襯底上GaN薄膜

Si基GaN薄膜

Si+Cu薄膜:

多孔Si/Cu復(fù)合薄膜

Si上鍍Cu薄膜

Si基上電沉積Cu薄膜

YSZ+CeO2薄膜 30-50nm

CeO2/YSZ復(fù)合薄膜 30-50nm

CeO2/YSZ薄膜

Si+BN薄膜

Si/BN硅基氮化硼薄膜

單層氮化硼薄膜Si基底 CAS號(hào)7440-42-8

Si摻雜的c-BN薄膜

Si上的Cu外延膜

SiBN復(fù)合薄膜

FTO膜

Glass+FTO薄膜

玻璃板上涂氟氧化錫(FTO)

鍺(GOI)薄膜

體上鍺(GOI)薄膜

薄Si過渡層制備體上Ge(GOI)材料

GaAs+AlGaAs+GaAs薄膜

GaAs (半)(100)晶向基片上的GaAs GaAs / AlGaAs薄膜

GaAs/AlGaAs/GaAs薄膜

GaAs/AIGaAs壓阻薄膜

GaN系列薄膜

氮化鎵GaN/藍(lán)寶石復(fù)合襯底上蒸鍍金屬鎳(Ni)薄膜

GaN 薄膜基片

GaN外延薄膜

Ga2O3-?膜

AL2O3+Ga2O3-?薄膜

Ga2O3-?晶體

2英寸?- Ga2O3單晶襯底

Ga2O3-Al膜

Si上鍍Ge薄膜0.5-2um

生長(zhǎng)Si—Ge薄膜10x10mm

Si基改性Ge薄膜

硅基底石墨烯膜1cm*1cm

硅基底石墨烯膜5cm*5cm

雙層石墨烯膜2cm*2cm

康寧7980玻璃上鍍ITO膜10x10x0.7mm

康寧7980上鍍ito膜(ito film on corning 7980)

InP上鍍InAlAs薄膜  摻Fe半型材料 300nm

在InP襯底上生長(zhǎng)InAlAs/InGaAs等異質(zhì)結(jié)構(gòu)

InP襯底上InAlAs薄膜

InP襯底上生長(zhǎng)InAlAs薄膜

InAlAs-InGaAs-InP

InP上鍍InGaAs薄膜 半型材料

GaAs InGaP薄膜

GaAs襯底InGaP薄膜

金屬襯底InGaP/GaAs雙結(jié)薄膜

InGaP/GaAs/InGaAs三結(jié)薄膜

InGaP/GaAs微結(jié)構(gòu)材料

GaAs襯底成功制備了InGaP外延薄膜

InGaP/GaAs異質(zhì)結(jié)

ITO+ZnO鈉鈣玻璃

ITO/ZnO復(fù)合材料

納米ZnO/ITO導(dǎo)電玻璃復(fù)合材料

ITO= 100nm,ZnO= 50nm

ITO導(dǎo)電玻璃襯底上沉積出透明致密ZnO薄膜

La0.7Sr0.3MnO3 + Pb0.19Zr0.2Ti0.8O3復(fù)合材料

La0.7Sr0.3MnO3 + PbZr(x)Ti(1-x)O3復(fù)合材料

SrMoO4薄膜

SrMoO4薄膜(400nm)光致發(fā)光薄膜

SiO2+Pt 薄膜

SiO2∶Pt薄膜

二氧化硅/鉑復(fù)合薄膜SiO2/Pt

二氧化硅負(fù)載鉑復(fù)合薄膜催化材料

Si+SiO2+Ti+Pt薄膜

Pt/Ti/SiO2/Si基片鍍PZT膜

Pt/Ti/SiO2/Si襯底的寬波段薄膜

Pt/Ti/Si3N4/SiO2/Si基底的多層薄膜

鈣鈦礦型稀土復(fù)合氧化物L(fēng)aFeO3膜

鈣鈦礦型鐵酸鑭LaFeO3薄膜

Ni襯底上的LaFeO3薄膜

LaFeO3納米晶薄膜

LaNiO3導(dǎo)電薄膜

Si基底LaNiO3導(dǎo)電薄膜10x10x0.5mm

Si基LaNiO3導(dǎo)電薄膜 Si/LaNiO3

Si(111)襯底上沉積LaNiO3薄膜

La1-XSrXMnO3薄膜

La1-XSrXMnO3薄膜10x10x0.5mm

LaAlO3 或者 SrTiO3襯底La1-XSrXMnO3薄膜

SrTiO3(100)上La1-xSrxMnO3薄膜

Si襯底上外延生長(zhǎng)La1-xSrxMnO3單晶薄膜

玻璃基底上La1-xSrxMnO3納米薄膜

La1-xSrxTiO3薄膜

LaAlO3襯底La1-xSrxTiO3薄膜

La1-xSrxTiO3+δ陶瓷涂層

La2Zr2O7薄膜

La2Zr2O7/LaAlO3復(fù)合薄膜

LaAlO3單晶或Ni(NiW)雙軸織構(gòu)基板

LaAlO3單晶襯底La2Zr2O7薄膜

Ni襯底La2Zr2O7薄膜

高溫導(dǎo)涂層導(dǎo)體La2Zr2O7緩沖層薄膜

玻璃上鍍Mo

玻璃上鍍Mo?(Mo-coated?Sodalime?glass?)

CVD MoS2薄膜

襯底:Si/SiO2

尺寸:1*1cm、1*5cm、5*5cm、5*10cm

可以做CVD MoS2, BN,WSe2薄膜等

Si鍍Ni薄膜

Si納米線表面Ni薄膜

P型Si(100)化學(xué)鍍NiP薄膜

Si片上鍍Ni薄膜

Si/Ni基復(fù)合薄膜材料

Si+Si3N4薄膜

PE-CVD制備Si/Si3N4薄膜

Si3N4/Si多層紅外干涉濾波薄膜

SiO2,α—Si,Si3N4薄膜

CVD-Si3N4薄膜

Si3N4/FePd/Si3N4薄膜

Si基Si3N4/SiO2雙層駐極體薄膜

Al2O3+Si薄膜(SOS)料

Al2O3上鍍Si薄膜

γ-Al2O3/Si硅基外延薄膜

γ-Al2O3/Si異質(zhì)結(jié)構(gòu)薄膜

Si/Al2O3/Si薄膜

Si+SiO2+Si(SOI基片)

Si/SiO2/Si復(fù)合材料

Si/SiO2/p-Si結(jié)構(gòu)材料

Pt/Ti/SiO2/Si  Au/Cr/Si基片

Pt/Ti/SiO2/Si基片

Au/Cr/Si基片

4H-SiC上鍍4H-SiC薄膜P型

4H-SiC上鍍4H-SiC薄膜P型(4H-SiC?Epitaxial?Film?on?4H-SiC,?P?type)

p型4H-SiC單晶

4H-SiC同質(zhì)外延薄膜

4H-SiC材料p型摻雜材料

SiC 3C薄膜

PECVD生長(zhǎng)3C結(jié)構(gòu)SiC外延薄膜

3C-SiC(100)薄膜

Si+SiO2薄膜

Si/SiO2薄膜

Si襯底SiO2薄膜

Si/SiO2/Ta/Cu薄膜

常規(guī)厚度300nmSiO2

LaAlO3+SrTiO3薄膜

LaAlO3/SrTiO3鈣鈦礦結(jié)構(gòu)氧化物薄膜

SrTiO3/LaAlO3/SrTiO3(001)異質(zhì)結(jié)

SrTiO3(001)襯底上外延制備10晶胞層厚度的LaAlO3薄膜

Al2O3+YBCO薄膜10x10x0.5 mm

Al2O3+YBCO薄膜10x5x0.5 mm

Al2O3+YBCO薄膜3" dia.x0.5 mm

Al2O3/YBCO功能外延薄膜

YBCO/CeO2/Al2O3雙面導(dǎo)外延薄膜

YIG單晶外延薄膜GGG襯底

釔鐵石榴石YIG外延薄膜GGG襯底

釔鐵石榴石(Yttrium Iron Garnet)在GGG襯底外延薄膜

Al2O3+ZnO薄膜

Al2O3/ZnO薄膜

CVD生長(zhǎng)ZnO/GaN/Al2O3薄膜

Al2O3襯底上外延生長(zhǎng)ZnO薄膜

SrRuO3薄膜

SrTiO3基底SrRuO3薄膜50nm

SrTiO3襯底上生長(zhǎng)SrRuO3薄膜

SrRuO3/SrTiO3人工薄膜

SrRuO3/SrTiO3薄膜

TiO2薄膜

鈉鈣玻璃基底TiO2薄膜

二氧化鈦(TiO2)薄膜(鈉鈣玻璃基底)

ZnO/Au納米復(fù)合物

ZnO +Au+Cr

ZnO/Au/Cr復(fù)合薄膜

ZnO/Au/ZnO多層膜

ZnO+SiO2薄膜

熔融石英基底ZnO/SiO2薄膜

ZnO/SiO2復(fù)合薄膜

SiO2/Si襯備ZnO薄膜

Ge/ZnO/SiO2薄膜

ZnO+鈉鈣玻璃

鈉鈣玻璃基底ZnO薄膜

ZnS/CuInS/Mo/鈉鈣玻璃襯底上射頻濺射ZnO:Al薄膜

ZnO+Pt+Ti

Ti/Pt/ZnO復(fù)合薄膜

Ti/ZnO/Pt 復(fù)合薄膜

Pt/Ti/ZnO復(fù)合薄膜

Pt/Ti/SiO2/Si基片


廠家:西安齊岳生物科技有限公司

溫馨提示:西安齊岳生物提供的薄膜材料、熒光標(biāo)記物、mof材料、碳納米管、納米材料、嵌段共聚物、載藥脂質(zhì)體(擁有大學(xué)實(shí)驗(yàn)室的科學(xué)研究不用于人體及科研研究)

供應(yīng)商:西安齊岳生物科技有限公司(zhn2020.05.09)



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