手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
圓片在基區(qū)擴(kuò)散后，發(fā)射區(qū)擴(kuò)散前都要做先行片，由先行片的實(shí)驗(yàn)工藝條件來指導(dǎo)批量生產(chǎn)，在測試前需要進(jìn)行特性光刻開特性孔，特性光刻后進(jìn)行前處理：在加熱到（75±5）℃的2號液中煮一段時間，然后再進(jìn)行H2處理，后利用四探針測試儀測試晶體管的特性。
H2處理的工藝溫度為500℃，進(jìn)行H2處理的目的是為了改善硅片表面的表面態(tài)密度，由于硅片特性光刻后在表面形成很多硅的懸掛鍵，即存在很多表面態(tài)，通過H2處理可以將硅懸掛鍵和氫鍵結(jié)合從而減少界面態(tài)，如果不進(jìn)行H2處理，特性測試不出來。
對于三極管（小功率和大功率）來說，主要是雙結(jié)測試，主要測試參數(shù)有BVCBO、BVCEO、BVEBO、HFE，如果HFE偏小，則需要追加擴(kuò)散，一般擴(kuò)散時間越長，HFE越大，當(dāng)然HFE均勻性也很重要，不能太離散。對于大功率晶體管還需要在基區(qū)擴(kuò)散后進(jìn)行單結(jié)，主要測試BVCBO。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心