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白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
白光干涉儀該怎樣選購(gòu)呢?
(1)精度。精度高的白光干涉儀是較好的白光干涉儀。為什么這么說(shuō)呢?這么說(shuō)并非說(shuō)白光干涉儀的其他功用不重要，咱們都知道任何一款電子衡器其構(gòu)成結(jié)構(gòu)多大同小異的，而許多產(chǎn)品不同只是用材的差異性，并非技能型的差異性。但精度這個(gè)不是單獨(dú)用材就能夠處理的，它是一款白光干涉儀的規(guī)范，因而也決定其價(jià)格。
(2)靈敏度。針對(duì)大部分用戶來(lái)說(shuō)，選購(gòu)白光干涉儀批量的用戶大多是企業(yè)的收購(gòu)方;而企業(yè)要用來(lái)進(jìn)行大規(guī)模的稱重作業(yè)天然要以節(jié)省時(shí)刻為主。
(3)安穩(wěn)性。一個(gè)白光干涉儀能夠不把安穩(wěn)性放在位，那并不代表安穩(wěn)性不重要，只能說(shuō)先要滿足以上兩條，那么這個(gè)秤的安穩(wěn)性才具有意義。一旦以上兩條都滿足了，那么安穩(wěn)性也是舉足輕重的地位了。它們常常會(huì)使得稱重進(jìn)程中減少了無(wú)數(shù)的煩惱，數(shù)據(jù)差錯(cuò)，丈量成果也因而減少了累計(jì)差錯(cuò)，然后防止了終演變秤稱重?cái)?shù)據(jù)過(guò)錯(cuò)。
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