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白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
白光干涉儀該怎樣選購呢?
(1)精度。精度高的白光干涉儀是較好的白光干涉儀。為什么這么說呢?這么說并非說白光干涉儀的其他功用不重要，咱們都知道任何一款電子衡器其構(gòu)成結(jié)構(gòu)多大同小異的，而許多產(chǎn)品不同只是用材的差異性，并非技能型的差異性。但精度這個不是單獨用材就能夠處理的，它是一款白光干涉儀的規(guī)范，因而也決定其價格。
(2)靈敏度。針對大部分用戶來說，選購白光干涉儀批量的用戶大多是企業(yè)的收購方;而企業(yè)要用來進行大規(guī)模的稱重作業(yè)天然要以節(jié)省時刻為主。
(3)安穩(wěn)性。一個白光干涉儀能夠不把安穩(wěn)性放在位，那并不代表安穩(wěn)性不重要，只能說先要滿足以上兩條，那么這個秤的安穩(wěn)性才具有意義。一旦以上兩條都滿足了，那么安穩(wěn)性也是舉足輕重的地位了。它們常常會使得稱重進程中減少了無數(shù)的煩惱，數(shù)據(jù)差錯，丈量成果也因而減少了累計差錯，然后防止了終演變秤稱重數(shù)據(jù)過錯。
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