高分辨衍射儀有哪些技術(shù)特點(diǎn)

來源：馬爾文帕納科 2020年06月23日 10:05

高分辯衍射儀儀器簡介：
X'Pert PRO MRD/XL是高級半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備，用于：高級材料科學(xué)和納米技術(shù)，半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制，可以適用各種應(yīng)用，尤其適合薄膜分析，例如：搖擺曲線分析和倒易空間Mapping，反射率和薄膜相分析，殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析， X'Pert PRO MRD/ XL 高分辯衍射儀滿足半導(dǎo)體、LED、薄膜和高級工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析，并有精密的自動晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的的分析手段，LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。

X射線衍射儀技術(shù)分析其衍射圖譜，獲得材料的成分、材料內(nèi)部原子或分子的結(jié)構(gòu)或形態(tài)等信息的研究手段。X射線衍射分析法是研究物質(zhì)的物相和晶體結(jié)構(gòu)的主要方法。當(dāng)某物質(zhì)(晶體或非晶體)進(jìn)行衍射分析時,該物質(zhì)被X射線照射產(chǎn)生不同程度的衍射現(xiàn)象,物質(zhì)組成、晶型、分子內(nèi)成鍵方式、分子的構(gòu)型、構(gòu)象等決定該物質(zhì)產(chǎn)生*的衍射圖譜。X射線衍射方法具有不損傷樣品、無污染、快捷、測量精度高、能得到有關(guān)晶體完整性的大量信息等優(yōu)點(diǎn)。因此,X射線衍射分析法作為材料結(jié)構(gòu)和成分分析的一種現(xiàn)代科學(xué)方法,已逐步在各學(xué)科研究和生產(chǎn)中廣泛應(yīng)用。

高分辨衍射儀的主要特點(diǎn)：

●硬件系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)的結(jié)合，滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)W者、科研者的需要；

●高精度的衍射角度測量系統(tǒng)，獲取更準(zhǔn)確的測量結(jié)果；

●高穩(wěn)定性的X射線發(fā)生器控制系統(tǒng)，得到更穩(wěn)定的重復(fù)測量精度；

●程序化探作、一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計，操作簡便、儀器外型更美觀。

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