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真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
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⑴工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
?、屏私獗怀闅怏w成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選型時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
?、窃谄涔ぷ鲏簭?qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
⑷由于其有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
?、烧婵赵O(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
⑹每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，
?、吮门懦鰜淼挠驼魵鈱Νh(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油的類型，或者把油蒸氣排到室外。
?、唐涔ぷ鲏簭?qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。
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