干式真空泵是未來(lái)行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價(jià)格高原因外，還有用戶對(duì)干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業(yè)的未來(lái)經(jīng)濟(jì)效益，干式真空泵維修的小編在這里著重講下干式真空泵怎么進(jìn)行優(yōu)化選擇?

　　對(duì)于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。

　　現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái)，使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。

綜合考慮，如果用戶認(rèn)為耗電量對(duì)他來(lái)說(shuō)重要而氮?dú)庥昧繉?duì)他來(lái)說(shuō)不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個(gè)好的選擇。但普遍說(shuō)來(lái)，對(duì)尾氣處理越來(lái)越嚴(yán)格的要求使得將來(lái)對(duì)減少氮?dú)獾挠昧孔兊酶匾?。如果你希望用單一類型的泵不?jīng)過(guò)改變來(lái)處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫(kù)存控制簡(jiǎn)單化，那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。

 在真空泵維修中,應(yīng)注意下述幾點(diǎn):

①該泵制造精度較高,不是非常必要?jiǎng)t不必拆開,以**修不當(dāng),降低精度。當(dāng)然維修工作者應(yīng)當(dāng)提高自己的技術(shù)水平,在該泵技術(shù)性能變差時(shí),應(yīng)及時(shí)修理,*好能定期(一年)檢修。

②檢修時(shí),將泵從真空系統(tǒng)拆下后,開始檢查試抽,確認(rèn)必須拆泵修理時(shí),可按下列步驟進(jìn)行:取去護(hù)罩,拆下三角皮帶及大皮帶、排氣筒,松開各進(jìn)氣嘴處的壓蓋,把油放干凈后,拆去箱蓋和油密封室,取出主軸(不必拆斷鏈條),然后抬出左右機(jī)座。