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表面粗糙度輪廓儀的性能原理你知曉多少?

來源:上海曼戈斐光學(xué)技術(shù)有限公司   2020年07月22日 17:21  
   表面粗糙度輪廓儀是采用一條輪廓中線作為評定基準(zhǔn),借助評定參數(shù):輪廓算術(shù)平均偏差Ra、微光不平度十點(diǎn)高度Rz、輪廓大高度Ry、輪廓微觀不平度的平均間距Sm、輪廓的單峰平均間距S、輪廓支承長度率tp等六個(gè)參數(shù)對表面質(zhì)量進(jìn)行評定,終得到所需表面粗糙度的測試檢測儀器。
  表面粗糙度輪廓儀由傳感器、驅(qū)動(dòng)箱、指示表、記錄器和工作臺等主要部件組成。電感傳感器是輪廓儀的主要部件之一,傳感器測桿一端裝有觸針(由于金剛石耐磨、硬度高的特點(diǎn),觸針多選用金剛石材質(zhì)),觸針的要求曲率半徑很小,以便于全面的反映表面情況。測量時(shí)將觸針搭在加工件的被測表面上,并使針尖與被測面保持垂直接觸,利用驅(qū)動(dòng)裝置以緩慢、均勻的速度拖動(dòng)傳感器。由于被測表面是一個(gè)有峰谷起伏的輪廓,所以當(dāng)觸針在被測表面拖動(dòng)滑行時(shí),將隨著被測面的峰谷起伏而產(chǎn)生上下移動(dòng)。此運(yùn)動(dòng)過程又運(yùn)用杠桿原理經(jīng)過支點(diǎn)傳遞給磁芯,使它同步地在電感線圈中作反向上下運(yùn)動(dòng),并將運(yùn)動(dòng)幅度放大,從而使包圍在磁芯外面的兩個(gè)差動(dòng)電感線圈的電感量發(fā)生變化,并將觸針微小的垂直位移轉(zhuǎn)換為同步成比例的電信號。
  傳感器的線圈與測量線路直接接入由后續(xù)裝備成的平衡電橋,線圈電感量的變化使電橋失去了平衡,于是就激發(fā)輸出一個(gè)和觸針上下位移量大小比的電量,此時(shí)的這一電量比較微弱,不易被察覺,需要用電子裝置將這一微弱電量的變化放大,再經(jīng)相敏檢波后,獲得能表示觸針位移量大小和方向的信號。信號又可分為三路:一路加載在指示表上,以表示觸針的位置;一路輸送至直流功率放大器,放大后推動(dòng)記錄器進(jìn)行記錄;一路經(jīng)濾波和平均表放大器放大之后,進(jìn)入積分計(jì)算器,進(jìn)行積分計(jì)算,由指示表直接讀出表面粗糙度參數(shù)值。
  這種儀器的測量范圍通常為Ra0.02~10μm,其中有少數(shù)型號的儀器還可以測定更小的參數(shù)值。儀器配有各種附件,以適應(yīng)平面、內(nèi)外圓柱面、圓錐面、球面、曲面、小孔、溝槽等形狀的工件表面測量,測量迅速方便,且精度較高。

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