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霍爾效應(yīng)測試儀技術(shù)指導(dǎo)

來源:北京錦正茂科技有限公司   2020年08月06日 10:26  


產(chǎn)品簡介:

霍爾效應(yīng)系統(tǒng)組成:本儀器系統(tǒng)由永磁體、高精度恒流源高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高精度高斯計和系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的 JH10 效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。JH10 可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrieroncentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等。

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可測試材料:

半導(dǎo)體材料:SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料等;

低阻抗材料:石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料等;

高阻抗材料:半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等

技術(shù)指標(biāo):

* 磁 場:大于 5000 高斯(間距 18mm)

* 樣品電流:±50 納安~±50 毫安(小可調(diào)節(jié)電流為 0.1nA)

* 測量電壓:0.1 微伏~30 伏

* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料,各級別硅與砷化鎵(靈敏度與精度不同)

* 小分辨率: 1GS

* 磁場范圍: 0.5T

* 配合高斯計或數(shù)采板可計算機(jī)通訊

* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等

* 電阻率范圍:10-7~1011 Ohm*cm

* 電阻范圍:10 m Ohms~ 6MOhms

* 載流子濃度:103~1022cm-3

* 遷移率:0.1~108 cm2/volt*sec

* 溫區(qū):常溫

* 測試全自動化,一鍵處理

* 專業(yè)的歐姆接觸組合套件

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JH60 測試時,只需要輸入三個關(guān)鍵參數(shù)即可進(jìn)行測量,磁場的轉(zhuǎn)換為手動轉(zhuǎn)換,需要轉(zhuǎn)換磁場方向時程序會彈出信息框,根據(jù)測試程序的提示完成相應(yīng)的操作即可獲得樣品需要的參數(shù)。

測量時只需要設(shè)置好樣片通過的電流、樣片所在磁場環(huán)境的磁場大小、樣品厚度即可進(jìn)行測量,數(shù)據(jù)可以繪圖,可以導(dǎo)出至 EXCEL 中以便后期處理及使用。

系統(tǒng)構(gòu)成

永磁體霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)由永磁體、高斯計、恒流源、計算機(jī)及軟件組成。其中,高

斯計測量永磁體磁場值;恒流源一方面給樣品提供電流,用于霍爾效應(yīng)測試,一方面可以測

量樣品電壓;被測樣品置于樣品板上,由固定針固定;計算機(jī)連接高斯計、恒流源,通過軟

件實現(xiàn)控制通過被測樣品的電流,并獲取測得的電壓值。






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