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X射線衍射儀分為單晶衍射儀和多晶衍射儀兩種。單晶衍射儀的被測對象為單晶體試樣，主要用于確定未知晶體材料的晶體結(jié)構(gòu)?；驹恚涸谝涣尉w中原子或原子團(tuán)均是周期排列的。將X射線（如Cu的Kα輻射）射到一粒單晶體上會(huì)發(fā)生衍射，由對衍射線的分析可以解析出原子在晶體中的排列規(guī)律，也即解出晶體的結(jié)構(gòu)。
X射線衍射儀結(jié)構(gòu)組成：
?。?）X射線發(fā)生器 —— 產(chǎn)生X射線的裝置；
X射線發(fā)生器由X射線管、高壓發(fā)生器、管壓和管流穩(wěn)定電路以及各種保護(hù)電路等部分組成。
現(xiàn)代衍射用的X射線管都屬于熱電子管，有密封式和轉(zhuǎn)靶式兩種。前者大的功率在2.5KW以內(nèi)，視靶材料的不同而異；后者是為獲得高強(qiáng)度X射線而設(shè)計(jì)的，一般功率在10KW以上，目前常用的有9KW、12KW和18KW幾種。
X射線管實(shí)質(zhì)上是一個(gè)真空二極管。工作原理：給陰極加上一定的電流被加熱時(shí)，便能放出熱輻射電子。在數(shù)萬伏特高壓電場的作用下，這些電子被加速并轟擊陽極（又被稱為靶）。陽極靶面上受電子束轟擊的焦點(diǎn)呈細(xì)長的矩形狀（稱線焦點(diǎn)或線焦斑），從射線出射窗中心射出的X射線與靶面的掠射角為3°-6°。從出射方向垂直焦斑長邊的兩個(gè)出射窗口觀察，焦斑呈線狀的稱為線光源；從另外兩個(gè)出射窗口觀察，焦斑如點(diǎn)狀稱為點(diǎn)光源。在衍射儀每次安裝管子時(shí)，必須辨別所使用X射線出射窗口是否為線焦點(diǎn)方向。此外，還要求測角儀相對于靶面平面要有適當(dāng)?shù)膬A斜角。
（2）測角儀 —— 測量角度2θ的裝置；
測角儀是X射線衍射儀測量中核心部分，用來精確測量衍射角。
?。?）X射線探測器 —— 測量X射線強(qiáng)度的計(jì)數(shù)裝置；
計(jì)數(shù)器的主要功能是將X射線光子的能量轉(zhuǎn)換成電脈沖信號。通常用于X射線衍射儀的輻射探測器有正比計(jì)數(shù)器、閃爍計(jì)數(shù)器和位敏正比探測器。
?。?）X射線系統(tǒng)控制裝置 —— 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和各種電氣系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)。
X射線能對人體組織造成傷害，在自己做好防護(hù)措施的同時(shí)也要確保防護(hù)系統(tǒng)的安全性。對設(shè)備要定期進(jìn)行檢查維護(hù)，操作者要學(xué)習(xí)射線防護(hù)知識，同時(shí)也要接受射線職業(yè)健康檢查。
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