一些潔凈廠房的主要技術(shù)指標(biāo)

工廠類別：集成電路芯片甲廠，集成電路芯片乙廠，集成電路芯片丙廠，TFT-LCD甲廠，TFT-LCD乙廠，TFT-LCD丙廠

潔凈室建筑（核心生產(chǎn)區(qū)）面積（m²）：8700， 1400,  15800,  28000,  22000+14000, 33000

潔凈室建筑高度（m） ：20.0,   26.8,   22.0,   23.0,   20.3,   26.5

主要消費技術(shù)措施：設(shè)有回風(fēng)高靈敏度早期火災(zāi)報警系統(tǒng)，易燃易爆氣體報警系統(tǒng)，機(jī)械排煙設(shè)施，CO₂  滅火裝置等；設(shè)有機(jī)械排煙系統(tǒng)，回風(fēng)高靈敏度早期火災(zāi)報警系統(tǒng)，易燃、易爆氣體、化學(xué)品泄漏報警與連鎖等；設(shè)有自動噴淋系統(tǒng)，CO₂裝置，回風(fēng)高靈敏度早期火災(zāi)報警系統(tǒng)，易燃、易爆氣體報警系統(tǒng)等；設(shè)有自動噴淋系統(tǒng)，疏散走廊機(jī)械排煙，回風(fēng)高靈敏度早期火災(zāi)報警系統(tǒng)，特氣、危險化學(xué)品報警系統(tǒng)等；設(shè)有早期火災(zāi)博阿基系統(tǒng)，機(jī)械排煙系統(tǒng)，易燃、易爆氣體博阿基系統(tǒng)、自動噴淋系統(tǒng)等；設(shè)有早期火災(zāi)報警系統(tǒng)，機(jī)械排煙系統(tǒng)，易燃、易爆氣體報警系統(tǒng)，自動噴淋系統(tǒng)等。