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PECVD管式爐的主要特點和使用安全性

來源:上海精釗機械設備有限公司   2020年09月16日 08:45  
   PECVD管式爐可使用1200度以下,以硅碳棒或電阻絲為加熱元件,主要特點是分為上下兩個半圓,在高溫狀態(tài)下需要急速冷卻或換管子時,可以打開爐膛,觀察物料在高溫狀態(tài)下燒結(jié)狀態(tài);雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng),能快速升降溫,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。此款開啟式管式爐也可以有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。
 
  PECVD管式爐的主要特點:
  1.氣體預熱——增加前端氣體預熱區(qū),沉積速度更快,成膜效果更好;
 
  2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控,協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng);
 
  3.管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測,自動平衡管內(nèi)壓力。
 
  4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,省時省力;
 
  5.射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,自動運行;
 
  6.爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求,用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離;
 
  7.整機結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便,避免分散組裝的困擾。
 
  PECVD管式爐的使用安全性:
  1、爐膛開啟自動斷電功能,使爐門打開后自動斷電。
 
  2、超溫保護功能,當溫度超過允許設定值后,自動斷電及報警。
 
  3、漏電保護功能,當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。

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