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在掃描電鏡中對(duì)樣品加熱在許多材料科學(xué)研究中已經(jīng)成了一項(xiàng)*的手段，使用掃描電鏡原位加熱臺(tái)可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)地觀察溫度變化過(guò)程中的材料微觀變化及失效分析。如今被廣泛應(yīng)用于金屬材料、液晶檢測(cè)、半導(dǎo)體、高分子材料、流體包裹體、生物工程等眾多領(lǐng)域。原位加熱臺(tái)能夠使我們動(dòng)態(tài)地觀察樣品在加熱過(guò)程中的相變、再結(jié)晶、晶粒生長(zhǎng)與氧化現(xiàn)象。原位加熱臺(tái)的優(yōu)勢(shì)有：
1、快速實(shí)現(xiàn)溫度/樣品的穩(wěn)定；
2、溫度精度高及溫度均勻性好，可以準(zhǔn)確的測(cè)量溫度；
3、能夠?qū)Υ笾翑?shù)毫米的樣品快速地加熱和冷卻 ；
4、方便安裝/拆卸，在幾分鐘內(nèi)即可把樣品臺(tái)恢復(fù)到正常狀態(tài)；
5、緊湊的尺寸允許 EBSD 所需的大角度傾斜，方便裝置的插入和取出；
6、可進(jìn)行高溫下局部氣體反應(yīng)的研究；
7、基于PC的溫度控器，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控制能夠同步EBSD的面分布與溫度曲線；
8、樣品制備簡(jiǎn)單易行。
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