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在掃描電鏡中對樣品加熱在許多材料科學研究中已經(jīng)成了一項*的手段，使用掃描電鏡原位加熱臺可以進行動態(tài)地觀察溫度變化過程中的材料微觀變化及失效分析。如今被廣泛應用于金屬材料、液晶檢測、半導體、高分子材料、流體包裹體、生物工程等眾多領域。原位加熱臺能夠使我們動態(tài)地觀察樣品在加熱過程中的相變、再結晶、晶粒生長與氧化現(xiàn)象。原位加熱臺的優(yōu)勢有：
1、快速實現(xiàn)溫度/樣品的穩(wěn)定；
2、溫度精度高及溫度均勻性好，可以準確的測量溫度；
3、能夠對大至數(shù)毫米的樣品快速地加熱和冷卻 ；
4、方便安裝/拆卸，在幾分鐘內(nèi)即可把樣品臺恢復到正常狀態(tài)；
5、緊湊的尺寸允許 EBSD 所需的大角度傾斜，方便裝置的插入和取出；
6、可進行高溫下局部氣體反應的研究；
7、基于PC的溫度控器，實現(xiàn)準確控制能夠同步EBSD的面分布與溫度曲線；
8、樣品制備簡單易行。
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