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芯片廠中通常分為擴散區(qū)、光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、離子注入區(qū)、薄膜生長區(qū)和拋光區(qū)6個生產區(qū)域：
?擴散區(qū)是進行高溫工藝及薄膜積淀的區(qū)域，主要設備是高溫爐和濕法清洗設備；
②光刻區(qū)是芯片制造的心臟區(qū)域，使用黃色熒光管照明，目的是將電路圖形轉移到覆蓋于硅片表面的光刻膠上；
③刻蝕工藝是在硅片上沒有光刻膠保護的地方留下的圖形；
④離子注入是用高壓和磁場來控制和加速帶著要摻雜的雜質的氣體；高能雜質離子穿透涂膠硅片的表面，形成目標硅片；
⑤薄膜生長主要負責生產各個步驟中的介質層與金屬層的淀積。
⑥拋光，即CMP（化學機械平坦化）工藝的目的是使硅片表面平坦化。
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