原子力顯微鏡的分辨力受什么因素限制?

來源：北京中精儀科技有限公司 2020年11月18日 09:57

　　與傳統(tǒng)的光學顯微鏡、電子顯微鏡相比，原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要受什么因素限制?

　　傳統(tǒng)的光學顯微鏡的分辨本領(lǐng)受到光衍射極限的限制，其小分辨距離為其光波長的一半。電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)同樣受到衍射極限的限制，其小分辨本領(lǐng)為電子德布羅意波長的一半，因此電子顯微鏡可以達到比傳統(tǒng)光學顯微鏡更高的分辨本領(lǐng)。

　　原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要取決于：探針針尖的尺寸;微懸臂的彈性系數(shù)，彈性系數(shù)越低，原子力顯微鏡越靈敏;懸臂的長度和激光光線的長度之比;探測器PSD對光斑位置的靈敏度。對于分辨率一定的圖像，掃描范圍越小，獲得的表面形貌越精細。

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