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氣體微量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理

來(lái)源:碧普(瑞典)有限公司   2020年12月01日 11:15  
  氣體計(jì)量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中占有重要地位,一方面,新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破,尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展,使氣體微量流量計(jì)量由機(jī)械式向智能化、模塊化方向發(fā)展,其應(yīng)用范圍得到了大的擴(kuò)展;另一方面,隨著環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計(jì)量準(zhǔn)確度要求的不斷提高,對(duì)氣體計(jì)量可靠校準(zhǔn)和溯源的研究越來(lái)越受到重視。
 
  氣體微量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理,該儀表的傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(鉑RTD)組成。
 
  一個(gè)是質(zhì)量速度傳感器T1,一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí),其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個(gè)恒定的溫差,另一個(gè)傳感器T2用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。
 
  隨著氣體質(zhì)量流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降,要維持T1、T2恒定的溫度差,T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律。
 
  移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量,流量越大,接觸熱電阻的分子越多,吸收的熱量越多,熱吸收與某種氣體的分子數(shù),熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān)。
 
  氣體微量流量計(jì)適用于檢測(cè)微小氣體流量,在精密半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、氣體泄漏探測(cè)、真空鍍膜等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
 
  應(yīng)用范圍
 
  用于氣體微量流量計(jì)量,測(cè)量精度可達(dá)ppm級(jí)別,可適用于普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測(cè)量。適用于氫能、太陽(yáng)能、沼氣技術(shù)、環(huán)境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領(lǐng)域。
 
  該流量計(jì)采用自主發(fā)明技術(shù)GasMeteringCell(GMC),結(jié)合自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件,簡(jiǎn)便、直接測(cè)量氣體體積或質(zhì)量,測(cè)量精度可達(dá)ppm級(jí)別。
 
  可根據(jù)需要拓展為多通道,輕松實(shí)現(xiàn)平行實(shí)驗(yàn),提高工作效率和數(shù)據(jù)可靠對(duì)比性。

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