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氣體微量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理
氣體計(jì)量在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中占有重要地位，一方面，新工藝和新技術(shù)等制約其發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域的突破，尤其是微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，使氣體微量流量計(jì)量由機(jī)械式向智能化、模塊化方向發(fā)展，其應(yīng)用范圍得到了大的擴(kuò)展;另一方面，隨著環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等應(yīng)用領(lǐng)域?qū)怏w計(jì)量準(zhǔn)確度要求的不斷提高，對(duì)氣體計(jì)量可靠校準(zhǔn)和溯源的研究越來(lái)越受到重視。
氣體微量流量計(jì)是依據(jù)吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)的原理，該儀表的傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(鉑RTD)組成。
一個(gè)是質(zhì)量速度傳感器T1，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測(cè)氣體中時(shí)，其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個(gè)恒定的溫差，另一個(gè)傳感器T2用于感應(yīng)被測(cè)氣體溫度。
隨著氣體質(zhì)量流速的增加，氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降，要維持T1、T2恒定的溫度差，T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律。
移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量，流量越大，接觸熱電阻的分子越多，吸收的熱量越多，熱吸收與某種氣體的分子數(shù)，熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān)。
氣體微量流量計(jì)適用于檢測(cè)微小氣體流量，在精密半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、氣體泄漏探測(cè)、真空鍍膜等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
應(yīng)用范圍
用于氣體微量流量計(jì)量，測(cè)量精度可達(dá)ppm級(jí)別，可適用于普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測(cè)量。適用于氫能、太陽(yáng)能、沼氣技術(shù)、環(huán)境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領(lǐng)域。
該流量計(jì)采用自主發(fā)明技術(shù)GasMeteringCell(GMC)，結(jié)合自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件，簡(jiǎn)便、直接測(cè)量氣體體積或質(zhì)量，測(cè)量精度可達(dá)ppm級(jí)別。
可根據(jù)需要拓展為多通道，輕松實(shí)現(xiàn)平行實(shí)驗(yàn)，提高工作效率和數(shù)據(jù)可靠對(duì)比性。
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