微波光電導載流子復合壽命測試儀采用微波反射接觸光電導衰退測量方法,適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量,提供接觸、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導體的重要檢測項目。
微波光電導載流子復合壽命測試產(chǎn)品簡介:
微波光電導載流子復合壽命測試儀是參照半導體設備和材料組織SEMI標準MF1535-0707及標準GB/T 26068-2010設計制造。
微波光電導載流子復合壽命測試儀采用微波反射接觸光電導衰退測量方法,適用于硅塊少數(shù)載流子壽命的測量,提供接觸、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導體的重要檢測項目。
微波光電導載流子復合壽命測試參數(shù):
讀數(shù)方式:數(shù)字直讀
壽命測量范圍:0.25μs-10ms
樣品電阻率下限>0.5Ω·cm
高頻光電導少數(shù)載流子壽命測試儀備注:WJ-100B型微波光電導載流子復合壽命測試儀用于測量棒狀樣品,測量片狀樣品選用WJ-100A型微波光電導載流子復合壽命測試儀!
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