國產(chǎn)電鏡可像數(shù)碼相機一樣操作簡單,在輕松獲得大倍數(shù)圖像的同時,保持著高分辨率和大景深,具有掃描電子顯微鏡的強大電子光學性能,有助于加快在生命科學以及加工材料的缺陷分析方面的研究步伐。
該設備在自動對焦、自動襯比和自動亮度控制等基本方面,操作都很簡單,無需進行涂層或干燥等特殊的樣品處理準備,高真空和低真空兩種操作模式以及三種加速電壓設置,適用于多種應用領域,所有這些都可在預先設定的方案文件中進行編程,在輕松獲得大倍數(shù)圖像的同時,保持著高分辨率和大景深,具有掃描電子顯微鏡的強大電子光學性能。
掃描電鏡由電子槍發(fā)射出電子束(直徑約50um),在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚,形成直徑為5nm的電子束,聚焦在樣品表面上,在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線圈的作用下,電子束在樣品上做光柵狀掃描,電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號電子,這些信號電子經(jīng)探測器收集并轉換為光子,再經(jīng)過電信號放大器加以放大處理,成像在顯示系統(tǒng)上。
國產(chǎn)電鏡的結構包括電子光學系統(tǒng)、信號收集、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng),這部分主要由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室組成,電子槍提供一個穩(wěn)定的電子源,形成電子束,一般使用鎢絲陰極電子槍,用直徑約為0.1 mm的鎢絲,彎成發(fā)夾形,形成半徑約為100um的V形尖端。當燈絲電流通過時,燈絲被加熱,達到工作溫度后便發(fā)射電子,在陰極和陽極間加有高壓,這些電子則向陽極加速運動,形成電子束。電子束在高壓電場作用下,被加速通過陽極軸心孔進入電磁。
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