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錦正茂高低溫真空探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)

來(lái)源:北京錦正茂科技有限公司   2021年01月07日 10:48  
高低溫真空探針臺(tái)
錦正茂高低溫真空探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品概述:

錦正茂高低溫真空探針臺(tái)可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試(4.2K~500K),可升級(jí)加載磁場(chǎng),低溫防輻射屏設(shè)計(jì),樣品臺(tái)采用高純度無(wú)氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過(guò)的硅二極管作為測(cè)溫裝置,支持光纖光譜特性測(cè)試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng),器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz),探針熱沉設(shè)計(jì),LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試,自動(dòng)流量控制,材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。

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應(yīng)用范圍:

錦正茂高低溫真空探針臺(tái)高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試,材料測(cè)試,霍爾測(cè)試,電磁輸運(yùn)特性等。

可選附件:

t 防震桌

t 多級(jí)壓縮制冷機(jī)

t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

t 射頻部件

t 各類型頻率真空接頭

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…

t 各類探針夾具

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件

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技術(shù)指標(biāo):

型號(hào)

T81-50探針臺(tái)

T80-50探針臺(tái)

制冷方式

液氦/液氮制冷

閉循環(huán)制冷機(jī)

腔體材質(zhì)

無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金

真空度

真空上等高達(dá)10-8Pa

真空腔觀察窗尺寸

2inch(可選)

控溫范圍

4.2K-450K

5K-450K

控溫分辨率

0.001K控溫儀相關(guān)

溫度穩(wěn)定性

0.1K控溫儀相關(guān)

降溫時(shí)間

40min

150min內(nèi),視制冷機(jī)功率定

溫度傳感器

硅二極管、PT1003個(gè),樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè))

加熱電源

LVDC 低壓直流

樣品臺(tái)材質(zhì)

鍍金無(wú)氧銅

樣品臺(tái)尺寸

直徑20-50mm,可選100mm

樣品臺(tái)平整度

7μm

樣品臺(tái)固定方式

固定的樣品臺(tái)(可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng))

樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別

50納米

1μm(三級(jí)減震)

探針臂數(shù)量

2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選

探針臂機(jī)械精度

±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm(可選)

探針?lè)N類

鎢、鈹銅、微波探針(可選高達(dá)67GHzGSG探針)

探針調(diào)節(jié)

真空波紋管外部調(diào)節(jié),手動(dòng)控制

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

顯微鏡行程

X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm

電力需求

220V 50-60Hz




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