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顯微光譜測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)可分為三個模塊：照明模塊、光譜接收模塊以及成像模塊。
照明模塊可分為科勒照明和共焦照明：科勒照明的光源一般為顯微鏡自帶的鹵素?zé)?，通過透鏡組將鹵素?zé)艚z成像于物鏡的后焦平面上，如此，物體可獲得較為明亮且均勻的全場照明；共焦照明是將照明光源（例如激光、氙燈等）通過光纖引入，光纖輸出端面經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像于物體面上，即入射端面與物體面共軛，實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)照明或激發(fā)。
光譜接收模塊由光纖以及微型光譜儀組成，其中光纖接收光路為共焦接收，即接收面和物體面為共軛面，實(shí)現(xiàn)定點(diǎn)光譜接收。接收光纖一端接入顯微鏡光路，另一端連接至微型光譜儀，從而獲取物體微觀區(qū)域內(nèi)的光譜信息。
成像模塊為CCD相機(jī)，在顯微鏡的基礎(chǔ)上，將CCD/CMOS相機(jī)放置在物體面的共軛面上，在測量光譜的同時，可以實(shí)現(xiàn)物體圖像實(shí)時采集。
顯微光譜測量設(shè)備能夠用于哪些平面的觀測呢？
1、樣品平面
大家應(yīng)該都知道樣品是什么，但是樣品平面卻是一個比較陌生的名詞，簡單來說，就是待測物體的平面和顯微角分辨光譜設(shè)備之間的距離處于工作距離，此時的狀態(tài)就被稱為樣品平面。在這種平面狀態(tài)下，由于樣品和設(shè)備之間的距離是符合要求的，所以一顯微角分辨光譜能夠非常清晰的對待測物體進(jìn)行成像。
2、視場光闌平面
對于限定了成像范圍的光闌就叫做視場光闌，通常視場光闌平面會處于光學(xué)成像設(shè)備的入射光路之中，顯微角分辨光譜設(shè)備在此處會有一個能夠調(diào)節(jié)孔徑大小的光闌，能夠有效控制樣品上照射到的光斑大小從而對其進(jìn)行更細(xì)致的觀測。所以說，顯微角分辨光譜設(shè)備能夠用在視場光闌平面之中。
3、圖像平面
和視場光闌平面相反，圖像平面正好處于光學(xué)設(shè)備的出射光路之中，顯微角分辨光譜設(shè)備也能夠在此發(fā)揮作用，可以對圖像的實(shí)時光譜情況進(jìn)行采集，從而能夠讓樣品的光譜分析更加深入透徹。
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