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實(shí)驗(yàn)室三維磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)

來(lái)源:北京錦正茂科技有限公司   2021年01月18日 09:32  
實(shí)驗(yàn)室三維磁場(chǎng)探針臺(tái)技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品概述:

實(shí)驗(yàn)室錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái)北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場(chǎng)探針臺(tái),采用無(wú)磁材料制成,一維 、二維 、三維三對(duì)亥姆霍茲線圈正交放置,產(chǎn)生空間一維 、二維 、三維磁場(chǎng)。線圈可采用風(fēng)冷(磁場(chǎng)較?。┮部刹捎盟浣Y(jié)構(gòu)(磁場(chǎng)較大),并且配備有線圈過(guò)熱保護(hù)裝置。和錦正茂生產(chǎn)的高精度雙極性直流電源配合使用可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過(guò)軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流,可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng),便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào),用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等。

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應(yīng)用范圍:

實(shí)驗(yàn)室錦正茂三維磁場(chǎng)探針臺(tái) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。三維探針臺(tái)和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配,通過(guò)真正的雙極性電源輸出,實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成。

可選附件:

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線

t CCDC-MOS視頻成像裝裝置

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉(zhuǎn)接頭      

t 靜音真空泵

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技術(shù)指標(biāo):

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)

型號(hào)

T8-500-3

T8-300-3

T8-100-3

材質(zhì)

所選材料均為無(wú)磁材質(zhì)

磁場(chǎng)范圍

500Gs

300Gs

100GS

線圈材質(zhì)

耐高溫漆包線

磁場(chǎng)均勻性

中心區(qū)50毫米球體內(nèi)1%

電源穩(wěn)定性

三臺(tái)高精度直流電源 50ppm可選10ppm

磁場(chǎng)分辨率

0.05 mT

角度分辨率

0.02°

樣品固定方式

吸盤或者壓片

樣品臺(tái)直徑

50mm可定制

顯微鏡

XY平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

探針臂數(shù)量

24可選

探針臂行程

25mm-25mm-12mm可更換

探針臂移動(dòng)精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

探針長(zhǎng)度

38mm

探針直徑

0.51mm

針尖直徑

10μm/5μm/1μm

探針材料

/鈹銅/GGB

漏電精度

100fA

顯微鏡

X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm,可選加載激光




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