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低溫等離子體（Plasma）應(yīng)用已經(jīng)是一個(gè)具有影響的重要的科學(xué)與工程，對(duì)高科技經(jīng)濟(jì)的發(fā)展及傳統(tǒng)工業(yè)的改造有著巨大的影響。不少微電子器件設(shè)備都采用等離子體清洗機(jī)；較多高分子材料都要經(jīng)過低溫等離子體的表面處理和改性。低溫等離子體清洗機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體工業(yè)、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學(xué)、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領(lǐng)域。
等離子體清洗機(jī)的輔助加工工藝被用來制造特種優(yōu)良性能的新材料、研制新的化學(xué)物質(zhì)和化學(xué)過程，加工、改造和精制材料及其表面，等離子清洗機(jī)具有極其廣泛的工業(yè)應(yīng)用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、等離子體輔助加工
等離子體清洗機(jī)方向性不強(qiáng)，能夠處理各種形狀的物體，并且對(duì)于微孔和凹陷也能夠深入內(nèi)部進(jìn)行精細(xì)化處理。等離子清洗機(jī)對(duì)材料也沒有限制，尤其適用于不耐熱和不耐溶劑的材料，處理效率非常高只需要幾分鐘即可。
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