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隨著集成電路工業(yè)和半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)的發(fā)展越來越快，不僅在生產(chǎn)過程中對(duì)設(shè)備的要求越來越準(zhǔn)確和可靠，而且對(duì)工藝和制造環(huán)境的要求也越來越高嚴(yán)格。潔凈室是對(duì)環(huán)境敏感的物質(zhì)和產(chǎn)品的過程制造環(huán)境，主要用于提高產(chǎn)量和產(chǎn)量。但通常會(huì)忽略一些微小的化學(xué)揮發(fā)性氣體，實(shí)際上它們對(duì)許多處理過程有害，尤其是在集成電路行業(yè)中。因此，為了提供“更清潔”的生產(chǎn)環(huán)境，近年來，機(jī)載分子污染物AMC已逐漸被人們所認(rèn)識(shí)和重??視?？赐赀@篇文章后，你將明白AMC監(jiān)測(cè)的重要性。
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物，AMC，內(nèi)部來自建筑材料，設(shè)備和材料的釋放，腐蝕和光刻等過程，化學(xué)物質(zhì)逸出，人員生成，管道泄漏，設(shè)備維護(hù)和維修例如，外部存在于周圍空氣中的氣相污染物和潔凈室的廢氣排放被送回潔凈室。AMC監(jiān)測(cè)是高科技生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵因素，尤其是在微電子行業(yè)。
那么，什么是AMC？AMC是指空氣傳播的分子污染，也縮寫為“分子污染”。它包括一系列出現(xiàn)在潔凈室空氣中的污染物，它們以氣體，蒸氣和空氣中的粉塵的形式出現(xiàn)?；瘜W(xué)特性可以是有機(jī)或無機(jī)的；包括酸，堿，聚合物添加劑，有機(jī)金屬化合物，縮合劑和添加劑的特性。
1、AMC描述了多種化學(xué)類型，這些化學(xué)類型通常會(huì)導(dǎo)致大量潛在的工藝問題。
2、AMC對(duì)亞微米設(shè)備生產(chǎn)的幾乎任何方面都有影響，基本上貫穿整個(gè)生產(chǎn)過程和設(shè)備的終性能。
3、半導(dǎo)體制造工藝將300mm晶圓，銅互連和設(shè)備組件的尺寸更改為小于0.01微米，這正在加速將相應(yīng)的制造環(huán)境轉(zhuǎn)變?yōu)榉肿游廴荆ˋMC）。
4、AMC監(jiān)測(cè)已成為所有新型半導(dǎo)體制造設(shè)備設(shè)計(jì)要求中的重點(diǎn)之一。
5、過多的MC空氣分子污染物將導(dǎo)致一系列嚴(yán)重后果，例如廢棄的威化餅，停產(chǎn)和凈化潔凈室。因此，AMC監(jiān)視非常重要。
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