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掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。主要用于各種材料的微觀分析和成分分析，已經(jīng)成為材料科學(xué)、生命科學(xué)和各生產(chǎn)部門(mén)質(zhì)量控制中*的工具之一。
掃描電鏡的結(jié)構(gòu)包括電子光學(xué)系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、X射線能譜分析系統(tǒng)。
掃描電鏡的原理介紹：
掃描電子顯微鏡是一種利用高能聚焦電子束掃描樣品表面，從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。所以其使用電子束為照明源，電子束在樣品表面掃描，利用電子和物質(zhì)作用所產(chǎn)生的信息結(jié)合電子光學(xué)原理進(jìn)行成像。判斷掃描電鏡性能主要依據(jù)分辨率和有效放大倍數(shù)。分辨率即能夠分辨的小距離。
通常采用阿貝公式定義分辨率，公式（單位為nm）為：
式（1）中：R 為分辨率；λ為波長(zhǎng)；n 為折射率；α為孔徑半徑。
有效放大倍數(shù)定義為：
式（2）中：Rp 為人眼能夠區(qū)分的小距離，Rm 為機(jī)器能夠分辨的小距離，比如人眼可以區(qū)分0.2 mm，機(jī)器可以區(qū)分1 nm，那么這臺(tái)儀器有效放大倍數(shù)是20 萬(wàn)倍。針對(duì)不同的有效放大倍數(shù)，掃描范圍也會(huì)有所區(qū)別。
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