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勻膠機(jī)是在旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
選購巧
從其原理來說，可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)
旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速大。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)
如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。
材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時時低的顛簸狀態(tài)。
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