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測(cè)量顯微鏡是光學(xué)計(jì)量?jī)x器之一種，是指配有瞄準(zhǔn)顯微鏡和坐標(biāo)工作臺(tái)的用于二維坐標(biāo)尺寸測(cè)量的光學(xué)計(jì)量?jī)x器。測(cè)量顯微鏡采用透、反射的方式對(duì)工件長度和角度作精密測(cè)量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測(cè)試，是一種多用途的小型精密測(cè)量?jī)x器。
測(cè)量顯微鏡的安裝使用：
1、使用環(huán)境檢查：
應(yīng)對(duì)周圍環(huán)境的安全性進(jìn)行檢查，電源、電壓、LED光源、接地線等是否正確、牢固，應(yīng)符和要求。
2、主要部件運(yùn)動(dòng)性能檢查：
測(cè)量顯微鏡工作臺(tái)、縱、橫滑板導(dǎo)軌、測(cè)微器、顯微鏡臂架導(dǎo)軌升降，測(cè)角度盤轉(zhuǎn)動(dòng)等部件，經(jīng)目力觀察和手動(dòng)試驗(yàn)，必須確認(rèn)結(jié)構(gòu)安裝可靠，位置準(zhǔn)確，運(yùn)轉(zhuǎn)性能應(yīng)舒適完好，無松動(dòng)阻滯和急跳現(xiàn)象存在。
3、測(cè)角目鏡的檢查：
①測(cè)量顯微鏡測(cè)角目鏡零位的檢查;
②測(cè)量顯微鏡測(cè)角目鏡十字線交點(diǎn)與其迥轉(zhuǎn)中心重合性的檢查。
測(cè)量顯微鏡的操作方法：
1、將被測(cè)試樣放在測(cè)量工作臺(tái)上，盡量放在玻璃中心位置。
2、轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量顯微鏡調(diào)焦手輪，至視線清晰為止，用目視判斷Z薄點(diǎn)，旋轉(zhuǎn)測(cè)量工作臺(tái)并依靠縱橫向的調(diào)節(jié)，把Z薄點(diǎn)方向原始基準(zhǔn)調(diào)至與十字線相重合，記錄測(cè)試標(biāo)志線所對(duì)應(yīng)的刻度值X1。
3、調(diào)節(jié)橫向手柄，測(cè)量工作臺(tái)沿X線軸向移動(dòng)，記錄另一側(cè)的讀數(shù)X2，X1 與X2之差即為測(cè)量值。
4、旋轉(zhuǎn)測(cè)量工作臺(tái)，依次測(cè)出各點(diǎn)讀數(shù)。
5、測(cè)量直徑時(shí)，可用移動(dòng)X、Y軸方向分別讀取數(shù)值。
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