什么是激光干涉儀?
激光干涉儀是利用激光作為長(zhǎng)度基準(zhǔn),對(duì)數(shù)控設(shè)備(加工中心、三座標(biāo)測(cè)量機(jī)等)的位置精度(定位精度、重復(fù)定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進(jìn)行精密測(cè)量的精密測(cè)量?jī)x器。
應(yīng)用:
1、激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具,可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線,為數(shù)控機(jī)床的誤差修正提供可靠依據(jù),現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。
2、激光干涉儀配有各種附件,可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。
3、激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動(dòng)態(tài)位移測(cè)量系統(tǒng)。
4、激光干涉儀具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能,可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃定位。
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