電容薄膜真空計(jì)具有測(cè)量精密度高、測(cè)量線性度好、計(jì)量可重復(fù)性好，而且測(cè)量與氣體成分無(wú)關(guān)等杰出的優(yōu)點(diǎn)，所以自從它問(wèn)世以來(lái)，受到了計(jì)量科學(xué)界的高度重視，一百多年以來(lái)，一代又一代性能更*的不斷涌現(xiàn)，技術(shù)日臻完善，應(yīng)用迅速擴(kuò)展，尤其顯著的是，過(guò)去以汞金屬（水銀）為標(biāo)準(zhǔn)器的各級(jí)真空壓力標(biāo)準(zhǔn)已逐步為精密而可靠的高精度的薄膜真空計(jì)所取代，工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)中的高精度壓力傳感器、真空傳感器才有了真正實(shí)用的精密在線測(cè)控系統(tǒng)，才有了現(xiàn)在的化工、醫(yī)藥、新能源，新材料、半導(dǎo)體、微電子、核能科學(xué)、等等現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的新發(fā)展。

但是， 其最大的缺點(diǎn)是價(jià)格昂貴、結(jié)構(gòu)嬌貴、使用環(huán)境要求高，尤其是進(jìn)口品牌的真空規(guī)，在許多環(huán)境條件苛刻的情況下不能正常使用，這些對(duì)于我們國(guó)產(chǎn)高精度薄膜真空計(jì)提出了新的挑戰(zhàn)；因此也產(chǎn)生了一個(gè)新的薄膜真空計(jì)的全新產(chǎn)品系列：高精度特型電容薄膜真空計(jì)系列。

高精度特型電容薄膜真空計(jì)系列，目前已研制成功并投入使用的主要型號(hào)類(lèi)型有：高溫型、低溫型、抗腐蝕型、防爆型（Exia。。。）、工業(yè)防護(hù)型（IP68）、太空環(huán)境型（絕對(duì)真空度）、微功耗型、無(wú)電磁輻射型（無(wú)源 真空計(jì)）等十多個(gè)專(zhuān)項(xiàng)，將在本欄目陸續(xù)詳細(xì)介紹并廣泛征求客戶意見(jiàn)，歡迎大家關(guān)注國(guó)產(chǎn)薄膜真空計(jì)，大力支持國(guó)產(chǎn)薄膜真空計(jì)。

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本集先從電容薄膜真空計(jì)的基本原理開(kāi)始敘述：

隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品，但是一般來(lái)說(shuō)其靈敏度、測(cè)量分辨率往往會(huì)受到一定的限制，