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表面形貌儀在實(shí)際應(yīng)用上采用了什么原理?

來(lái)源:孚光精儀(中國(guó))有限公司   2021年04月27日 11:07  
  表面形貌儀是一款便攜式表面形貌測(cè)量?jī)x,采用的白光共聚焦技術(shù),可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試,具有測(cè)量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn),該儀器的測(cè)量探頭可以任意旋轉(zhuǎn),適合精密測(cè)量 不可移動(dòng)樣品表面形貌,同時(shí)適合進(jìn)行野外測(cè)試。
 
  本產(chǎn)品是利用白光點(diǎn)光源,光線經(jīng)過(guò)透鏡后產(chǎn)生色差,不同波長(zhǎng)的光分開(kāi)后入射到被測(cè)樣品上。位于白光光源的對(duì)稱位置上的超靈敏探測(cè)器系統(tǒng)用來(lái)接收經(jīng)被測(cè)點(diǎn)漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理,探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來(lái)的特定波長(zhǎng)的光,從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。再通過(guò)點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo),即X-Z坐標(biāo)后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)。后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。

 

  應(yīng)用領(lǐng)域:
  用于太陽(yáng)能電池測(cè)量;
  用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量;
  用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量;
  用于機(jī)械部件的計(jì)量;
  用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。
 
  產(chǎn)品特性:
  1、采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級(jí)的分辨率;
  2、測(cè)量具有非破壞性,測(cè)量速度快,度高;
  3、測(cè)量范圍廣,可測(cè)透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料;
  4、尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面;
  5、不受樣品反射率的影響;
  6、不受環(huán)境光的影響;
  7、測(cè)量簡(jiǎn)單,樣品無(wú)需特殊處理。

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