表面形貌儀是一款便攜式表面形貌測量儀,采用的白光共聚焦技術(shù),可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點,該儀器的測量探頭可以任意旋轉(zhuǎn),適合精密測量 不可移動樣品表面形貌,同時適合進(jìn)行野外測試。
本產(chǎn)品是利用白光點光源,光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差,不同波長的光分開后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理,探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光,從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo),即X-Z坐標(biāo)后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標(biāo)。后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域:
用于太陽能電池測量;
用于半導(dǎo)體晶圓測量;
用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;
用于機(jī)械部件的計量;
用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。
產(chǎn)品特性:
1、采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率;
2、測量具有非破壞性,測量速度快,度高;
3、測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料;
4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面;
5、不受樣品反射率的影響;
6、不受環(huán)境光的影響;
7、測量簡單,樣品無需特殊處理。
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