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表面形貌儀在實(shí)際應(yīng)用上采用了什么原理？
表面形貌儀是一款便攜式表面形貌測(cè)量?jī)x，采用的白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器的測(cè)量探頭可以任意旋轉(zhuǎn)，適合精密測(cè)量 不可移動(dòng)樣品表面形貌，同時(shí)適合進(jìn)行野外測(cè)試。
本產(chǎn)品是利用白光點(diǎn)光源，光線經(jīng)過(guò)透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長(zhǎng)的光分開(kāi)后入射到被測(cè)樣品上。位于白光光源的對(duì)稱位置上的超靈敏探測(cè)器系統(tǒng)用來(lái)接收經(jīng)被測(cè)點(diǎn)漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來(lái)的特定波長(zhǎng)的光，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。再通過(guò)點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即X-Z坐標(biāo)后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)。后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域：
用于太陽(yáng)能電池測(cè)量；
用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量；
用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness）測(cè)量；
用于機(jī)械部件的計(jì)量；
用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。
產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率；
2、測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，度高；
3、測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料；
4、尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面；
5、不受樣品反射率的影響；
6、不受環(huán)境光的影響；
7、測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理。
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