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微流控芯片的微結構制作及鍵合封接完成后，需對微結構的形狀、尺寸和表面粗糙度進行檢測。目前常用的儀器有：表面輪廓儀和可標定的光學顯微鏡，可以給出微結構的表面輪廓和截面形狀，并由此推算出微結構的深度和寬度尺寸;掃描電子顯微鏡(SEM)可以給出微結構的立體形貌和截面形狀，并可推算出尺寸參數;使用原子力顯微鏡(AFM)，可對微結構的表面粗糙度進行觀測。
微流控芯片的分離物檢測方法
分離物的高靈敏度檢測對于微流控芯片有著重要意義。目前，微流控芯片的檢測方法大體上可以分為3類：光學檢測、電化學檢測及質譜學檢測。
紫外吸收檢測法是一種常規(guī)光學檢測法，相應的檢測器已經趨于成熟，但由于芯片的通道小、靈敏度不高，因此該方法已經不能夠滿足對低濃度和極微量樣品分析的要求。激光誘導熒光檢測是所有熒光檢測中靈敏度*高的一種方法。多數情況下其檢測下限可達10E-10—10E-12mol/L，所以該方法得到了廣泛的應用。
電化學檢測有安培法、電導法和電位法3種基本模式，其中安培法是應用普遍的一種方法。其基本原理是：測量化合物在電極表面受到氧化或還原反應時，會失去或得到電子，產生與分析物濃度成正比的電極電流，通過測量微通道中的電流即可得到溶液濃度的變化情況。電化學檢測的靈敏度可以與熒光檢測相媲美，同時，因為微電極可以加工到芯片上，因此更適合于微芯片的檢測。
質譜檢測的原理是根據分子質荷比的不同而達到檢測的目的。其優(yōu)點是能夠提供分子空間結構信息，因此在生物大分子(如蛋白質)的結構研究方面具有獨到之處。但因為質譜檢測系統(tǒng)本身比芯片還要大，所以也很難實現(xiàn)整個系統(tǒng)的微型化。單一的檢測方法將很難完成全部檢測任務，因此應對多種檢測方法的聯(lián)合使用及新的檢測方法進行研究。
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