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退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
結(jié)構(gòu)
退火爐骨架由各種型鋼焊接而成，外框用槽鋼作主梁，圍板采用冷薄板，臺(tái)車用槽鋼作主梁，底板及前后端板采用中板。
退火爐傳動(dòng)部分：臺(tái)車傳動(dòng)采用電動(dòng)機(jī)、減速機(jī)通過(guò)鏈條帶動(dòng)前端一組主動(dòng)輪傳動(dòng)。爐門傳動(dòng)是采用蝸輪減速機(jī)和電動(dòng)機(jī)組合電動(dòng)升降。
密封：臺(tái)車與爐體密封采用迷宮式結(jié)構(gòu)，并在臺(tái)車兩側(cè)有自動(dòng)沙封刀密封裝置。爐門密封采用滾道式壓緊和彈簧壓緊自動(dòng)機(jī)構(gòu)密封該爐爐體部分采用優(yōu)質(zhì)耐火磚結(jié)構(gòu)，保證爐膛密封性。在臺(tái)車耐壓部分采用高鋁磚砌筑，下部均添保溫磚保溫。
退火爐燃燒系統(tǒng)：在油爐兩側(cè)各安裝數(shù)只燒咀，熱流在爐內(nèi)往復(fù)循環(huán)，確保爐溫均勻性。根據(jù)需要可選定自動(dòng)型和半自動(dòng)型。
排煙預(yù)熱裝置：在爐后上端安裝了排煙預(yù)熱裝置，爐內(nèi)的煙氣通過(guò)預(yù)熱器時(shí)，由風(fēng)機(jī)送入冷風(fēng)進(jìn)行預(yù)熱，再由管路送至燒咀進(jìn)行助燃，并在出口安裝一只手動(dòng)碟閥，該閥可調(diào)節(jié)爐內(nèi)壓力。廣泛應(yīng)用于化工、石油、食品、冶金、機(jī)械、輕工、電力、船舶、造紙、礦山、醫(yī)藥、集中供熱等工業(yè)部門的加熱、冷卻、冷凝、蒸發(fā)等工藝過(guò)程中。
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