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三維形貌輪廓儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。
儀器利用白光點(diǎn)光源，光線經(jīng)過(guò)透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長(zhǎng)的光分開(kāi)后入射到被測(cè)樣品上。位于白光光源的對(duì)稱位置上的超靈敏探測(cè)器系統(tǒng)用來(lái)接收經(jīng)被測(cè)點(diǎn)漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來(lái)的特定波長(zhǎng)的光，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。
然后通過(guò)點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即X-Z坐標(biāo)后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo)。后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給儀器自帶的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。
三維形貌輪廓儀使用的注意事項(xiàng)：
1、測(cè)量結(jié)束，退出系統(tǒng)，關(guān)閉電腦，切斷電源；
2、測(cè)量完畢后用棉花拈汽油清洗工作臺(tái)及夾具，并涂油防銹；
3、儀器配件要注意防銹；
4、要定期（具體周期視環(huán)境定）清潔氣浮導(dǎo)軌，以保證導(dǎo)軌的精度。
三維形貌輪廓儀可測(cè)量各種機(jī)械零件的素線輪廓形狀參數(shù)，角度處理(坐標(biāo)角度，與Y坐標(biāo)的夾角，兩直線夾角)、圓處理(圓弧半徑，圓心到圓心距離，圓心到直線的距離，交點(diǎn)到圓心的距離，直線到切點(diǎn)的距離)、輪廓度、水平距離等形狀參數(shù)。
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