三維形貌儀的幾大校準(zhǔn)方法解析

來源：北京奧德利諾儀器有限公司 2021年06月21日 16:32

　　三維形貌儀是一種科學(xué)儀器，是用來偵測并分析現(xiàn)實世界中物體或環(huán)境的形狀（幾何構(gòu)造）與外觀數(shù)據(jù)（如顏色、表面反照率等性質(zhì)）。可分為接觸式、非接觸式、激光等類型。

　　三維形貌儀的應(yīng)用有三維表面輪廓測量、粗糙度測量、膜的臺階高度測量、空間分析和表面紋理表征、曲率測量、二維薄膜應(yīng)力測量、表面質(zhì)量和缺陷檢測等。

　　三維形貌儀的幾大校準(zhǔn)方法：

　　1.三維形貌校準(zhǔn)

　　這一校準(zhǔn)都和形貌測量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺階塊對臺階高度測試精度校準(zhǔn)。

　　2.二維光強校準(zhǔn)

　　這一校準(zhǔn)和成像視場范圍內(nèi)的“光強”信號相關(guān)。設(shè)備有一些功能，可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。

　　由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強校準(zhǔn)。

　　3.橫向校準(zhǔn)

　　這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。

　　三維形貌儀很多測試結(jié)果和分析設(shè)置，如溝槽寬度，孔徑尺寸，坡度斜率，空間濾波，拼接測量，都基于或和橫向尺寸相關(guān)。對于這些結(jié)果和分析，橫向尺寸的標(biāo)定是至關(guān)重要的。

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