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等離子清洗機(jī)清潔活化,提升封裝鍵合可靠性

來源:煙臺(tái)金鷹科技有限公司   2021年06月24日 17:54  

等離子體清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于PBGAS及倒裝晶片過程中和其它基于聚合物的襯底,以利于粘結(jié),減少分層。

等離子清洗機(jī)在IC封裝中通常在下面的幾個(gè)環(huán)節(jié)引入:在芯片粘合與引線鍵合前,以及在芯片封裝前。

環(huán)氧樹脂導(dǎo)電膠粘片前,如果用等離子體設(shè)備對(duì)載體正面進(jìn)行清洗,可以提高環(huán)氧樹脂的粘附性,去除氧化物以利于焊料回流,改善芯片與載體的連接,減少剝離現(xiàn)象,提高熱耗散性能。

用合金焊料將芯片往載體上進(jìn)行共晶燒結(jié)時(shí),如果由于載體上有污染或表面陳舊而影響焊料回流和燒結(jié)質(zhì)量,在燒結(jié)前用等離子清洗機(jī)處理載體,對(duì)保證燒結(jié)質(zhì)量也是有效的

封裝工藝前進(jìn)行等離子清洗機(jī)是十分有益的。等離子清洗機(jī)在諸多領(lǐng)域已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用,成為許多精密制造行業(yè)的設(shè)備。等離子體清洗機(jī)結(jié)合了等離子物理、化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng),跨多種領(lǐng)域,包括化工、材料、能源等,半導(dǎo)體和光電材料在未來的快速成長(zhǎng),此方面應(yīng)用需求也將越來越大。

在進(jìn)行引線鍵合前,用等離子清洗機(jī)清潔焊盤及基材,會(huì)顯著提高鍵合強(qiáng)度和鍵合線拉力的均勻性。對(duì)鍵合點(diǎn)的清潔意味著清除纖薄的污染表層。

IC在進(jìn)行塑封時(shí),要求塑封材料與芯片、載體、金屬鍵合腳等各種不同材料,有較好的粘附性,如果有沾污或表面活性差,就會(huì)導(dǎo)致塑封表面層剝離。用等離子清洗機(jī)處理后再封裝可以有效地提高表面活性,改善粘附性,提高封裝的可靠性。

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