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隨著消費(fèi)電子技術(shù)和產(chǎn)品的發(fā)展，Micro-LED作為下一代可能的顯示器需要一種高速的檢測(cè)技術(shù)以滿(mǎn)足大批量生產(chǎn)制造的需求。高光譜成像技術(shù)恰好具有滿(mǎn)足這個(gè)需求的前景。
針對(duì)某個(gè)客戶(hù)提供的Micro-LED樣品和檢測(cè)要求，我公司的技術(shù)人員在之前的高光譜顯微成像系統(tǒng)的基礎(chǔ)上做了大量改進(jìn)，在樣品測(cè)試中取得了良好的效果。
下圖是我們采用的檢測(cè)系統(tǒng)基本構(gòu)成。
Micro-LED燈珠誘導(dǎo)發(fā)光影像及光譜
Micro-LED是在某個(gè)尺寸的晶圓上通過(guò)類(lèi)似于光刻的技術(shù)手段制作出按規(guī)則排列的微型LED燈珠，最終成為Micro-LED顯示器。
我們改進(jìn)的成像高光譜檢測(cè)系統(tǒng)可以清楚的觀察到燈珠之間的間隙，區(qū)分正負(fù)極，分辨出“盲珠”并且利用專(zhuān)有軟件判斷每個(gè)燈珠發(fā)光的波長(zhǎng)準(zhǔn)確性、發(fā)光顏色和亮度等。最終實(shí)現(xiàn)工業(yè)級(jí)的高速檢測(cè)。
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