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3D形貌儀（三維成像）能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現(xiàn)全自動化。
形貌儀3D系統(tǒng)由臺架、控制系統(tǒng)、探頭、針尖組成。系統(tǒng)控制單元控制探頭沿樣品表面移動，以測量形貌、粗糙度、尺寸。操作者可根據(jù)需要設定參數(shù)，如探頭移動的步長，選擇、制定自己的測試模式，以使測量長度、速度、路徑、分辨率達到*化。測試系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理能力非常強，可得到多種參數(shù)，包括形貌、粗糙度、坐標尺寸等。同時有自動控制能力，可以和超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合，如為微加工系統(tǒng)提供在線檢測，以隨時控制加工質(zhì)量。
3D形貌儀的啟動四步驟說明：
步驟1
先啟動計算機，然后開啟儀器。使用原廠默認密碼登錄系統(tǒng)。
步驟2
約30s后，雙擊桌面上的3D圖標，打開測試軟件。
步驟3
使用用戶名、密碼登錄測試軟件。出廠時的默認用戶名和密碼參考說明書，參照說明書獲取用戶設置的更多信息。
步驟4
點擊OK，初始化Z軸。接著點擊OK，初始化XY載臺。
注意：Z軸和XY載臺即將移動，請確認沒有任何物體阻礙它們的運動路徑。請勿用手觸碰移動部件。
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