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真空氣氛爐又名無氧退火爐、真空氣氛燒結(jié)爐等物體在通入一定氣體的爐膛內(nèi)進行燒結(jié)的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結(jié)，有助于燒結(jié)過程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體(如氬)等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結(jié)，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結(jié)，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結(jié)。有時為保護燒結(jié)調(diào)協(xié)也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。
真空氣氛爐是真空技術與熱處理技術相結(jié)合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的，真空熱處理可以實現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量大大提高。與常規(guī)熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
真空氣氛爐的主要優(yōu)點是:
(1)減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產(chǎn)品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一40℃的露點是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當于含水量為一40℃的露點。而獲得這樣的真空度是并不困難的。
(2)對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結(jié))，或容易出現(xiàn)脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結(jié)。
(3)真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。
(4)真空燒結(jié)有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。
(5)真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產(chǎn)物，對促進燒結(jié)后期的收縮有明顯作用。如真空燒結(jié)的硬質(zhì)合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結(jié)的硬質(zhì)合金。
(6)真空燒結(jié)溫度比氣體保護燒結(jié)的溫度要低一些，如燒結(jié)硬質(zhì)合金時燒結(jié)溫度可降低100~150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。
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