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ST2258A多功能數(shù)字式四探針測試儀適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠
ST2258A多功能數(shù)字式四探針測試儀
ST2258A型多功能數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺(tái)等部分組成。
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀特贈(zèng)設(shè)測試結(jié)果分類功能，最大分類10類。
探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配專用探頭，也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測試臺(tái)選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺(tái)。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺(tái)，也可選配SZT-D型測試臺(tái)以測試半導(dǎo)體粉末電阻率，選配SZT-G型測試臺(tái)測試橡塑材料電阻率。
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。
三、基本技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率（可向下拓展1～3個(gè)數(shù)量級(jí)，括號(hào)內(nèi)為向下拓展3個(gè)數(shù)量級(jí)）
電 阻：1.0×10-3 ～ 200.0×105 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×104 Ω
（1.0×10-6 ～ 200.0×102 Ω, 分辨率0.1×10-6 ～ 0.1×102 Ω）
電 阻 率：1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
（1.0×10-6 ～ 200.0×101 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.1×101 Ω-cm）
方塊電阻：5.0×10-3 ～ 100.0×104 Ω/□ 分辨率0.5×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
（5.0×10-6 ～ 100.0×101 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×101 Ω/□）
2. 材料尺寸(由選配測試臺(tái)和測試方式?jīng)Q定)
直 徑： SZT-A圓測試臺(tái)直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
SZT-B/C/F方測試臺(tái)直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.
長(高)度： 測試臺(tái)直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級(jí)
滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
常規(guī)量程 | kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | ||||
最大拓展量程 | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ | μΩ-cm/□ | ||||
基本誤差 | ±2%FSB ±4LSB | ±1.5%FSB ±4LSB | ±0.5%FSB±2LSB | ±0.5%FSB ±4LSB | |||
4) 工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5) 外形尺寸：W×H×L=215mm×85mm×190mm
凈 重：≤1.5～2.0kg
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