熱壓鍵合機在真空加熱爐內(nèi)安裝上下壓板,該機結(jié)構(gòu)緊湊,操作方便,用于將樣品置于兩塊壓板之間進行熱壓。設(shè)備配備兩臺數(shù)顯溫控表,可控制兩塊壓板的加熱或冷卻,還可設(shè)定加熱和冷卻時間。
熱壓鍵合機采用恒溫控制加熱技術(shù),控溫準確;鋁合金工作平臺,上下平坦,導(dǎo)熱快,導(dǎo)熱均勻;加熱面積大,覆蓋常用芯片;風冷和均勻的冷卻速度有利于提高粘接效果;壓力準確可調(diào),不同物料選擇不同壓力控制;采用*的真空熱壓系統(tǒng),在不損傷芯片的情況下大大提高了鍵合度。
熱壓鍵合機操作應(yīng)嚴格按照以下步驟進行:
1、檢查真空熱壓合機、真空泵、空壓機電源線是否連接正確,檢查各部分氣體管路連接是否正確,關(guān)閉系統(tǒng)各部分閥門和開關(guān)。
2、將待粘合芯片置于工作平臺(或相應(yīng)夾具)中間,調(diào)整氣缸行程,關(guān)閉艙門,打開真空泵,將熱壓機內(nèi)的空氣抽出。
3、按下氣缸控制開關(guān),確定芯片上的壓力。
4、溫度設(shè)定:將上下板的溫度調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)到需要的溫度。
5、按下上下板溫控開關(guān),開始加熱貼片。
6、熱壓粘合完成后,關(guān)閉上下板溫控開關(guān),使加熱板停止工作。
7、待溫度自然冷卻至工藝參數(shù)后,加空氣平衡內(nèi)外壓力。
8、打開艙門,采用氣動風冷方式,加快降溫速度。
9、當溫度降到50℃以下時,按下氣缸按鈕,提起氣缸,完成粘接。
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