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真空離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分夠成，可以根據(jù)客戶(hù)的特殊要求定制符合客戶(hù)需要的真空系統(tǒng)，真空室。容易采用數(shù)控技術(shù)，自動(dòng)化程度高；具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進(jìn)行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。
真空離子清洗機(jī)是氣體分子在真空、放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的物質(zhì)，等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置。廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應(yīng)用于汽車(chē)電子領(lǐng)域、軍工電子領(lǐng)域、PCB制成行業(yè)等高精密度領(lǐng)域。
真空離子清洗機(jī)真空等離子清洗機(jī)兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來(lái)越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運(yùn)動(dòng)距離也越來(lái)越長(zhǎng)，受磁場(chǎng)作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光，等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)空間運(yùn)動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，達(dá)到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機(jī)物，以及其它化學(xué)物質(zhì)，從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕效果，經(jīng)過(guò)等離子處理工藝可以實(shí)現(xiàn)有選擇的表面改性。
真空等離子清洗機(jī)工作過(guò)程：
真空等離子清洗機(jī)包括一個(gè)反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi)，真空泵開(kāi)始抽氣至一定的真空度，電源啟動(dòng)便產(chǎn)生等離子體，然后氣體通入到反應(yīng)腔室，使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體，這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng)，生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物，并由真空泵抽出。
真空型等離子清洗機(jī)就沒(méi)那么復(fù)雜，按電源頻率劃分，40KHz和13.56MHz為例：通常情況下材料放入腔體內(nèi)工作，頻率為40KHz一般溫度為65°以下，再者機(jī)器內(nèi)部裝有強(qiáng)冷風(fēng)扇，處理時(shí)間不長(zhǎng)的話(huà)，材料表面溫度都會(huì)跟室溫一致。頻率為13.56MHz的就會(huì)更低，通常情況是30°以下。所以處理一些受熱易發(fā)生形變的材料，低溫真空型等離子清洗機(jī)的是在再適合不過(guò)的了。真空等離子清洗機(jī)在工作中，腔體內(nèi)部的離子是不定向的，只要材料在腔體裸露出的部分，不管是哪個(gè)面哪個(gè)角落都可以洗得到。
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