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關(guān)于光譜橢偏儀的構(gòu)造,以下有詳細(xì)說明

來源:孚光精儀(中國)有限公司   2021年11月25日 11:12  
  光譜橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空,使得本儀器成為一種吸引力的測量儀器。
 

 

  儀器構(gòu)造:
  在光譜橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態(tài)。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。
  有些儀器測量ρ是通過旋轉(zhuǎn)確定初始偏振光狀態(tài)的偏振片。再利用第二個固定位置的偏振片來測得輸出光束的偏振態(tài)。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,而在中間部分調(diào)制偏振光的狀態(tài),如利用聲光晶體等,最終得到輸出光束的偏振態(tài)。這些不同的配置的最終結(jié)果都是測量作為波長和入射角復(fù)函數(shù)ρ。
  在選擇光譜橢偏儀的時候,光譜范圍和測量速度也是一個通常需要考慮的重要因素??蛇x的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm。光譜范圍的選擇通常由應(yīng)用決定。不同的光譜范圍能夠提供關(guān)于材料的不同信息,合適的儀器必須和所要測量的光譜范圍匹配。
  測量速度通常由所選擇的分光儀器來決定。單色儀用來選擇單一的、窄帶的波長,通過移動單色儀內(nèi)的光學(xué)設(shè)備,單色儀可以選擇感興趣的波長。這種方式波長比較準(zhǔn)確,但速度比較慢,因為每次只能測試一個波長。如果單色儀放置在樣品前,有一個優(yōu)點是明顯減少了到達(dá)樣品的入射光的量。另外一種測量的方式是同時測量整個光譜范圍,將復(fù)合光束的波長展開,利用探測器陣列來檢測各個不同的波長信號。在需要快速測量的時候,通常是用這種方式。傅立葉變換分光計也能同時測量整個光譜,但通常只需一個探測器,而不用陣列,這種方法在紅外光譜范圍應(yīng)用最為廣泛。

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