
蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于儀器鑲板,銘牌等的加工;經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展,亦可以用于航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導(dǎo)體制程上,蝕刻更是*的技術(shù)。
鋁是半導(dǎo)體工藝中最主要的導(dǎo)體材料。它具有低電阻、易于淀積和刻蝕等優(yōu)點。鋁蝕刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水,其中磷酸、硝酸、醋酸及水的組成比例會影響到蝕刻的速率,故需要對這種混酸溶液的成分進行分析。


圖2 醋酸和磷酸含量滴定曲線

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