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鋨等離子鍍膜儀主要是用于導(dǎo)電性的鋨金屬的提供薄、無定型薄膜。它是一款小型的射頻等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件，如300W（13.5MHz）的RF電源、2“的磁控濺射頭、石英真空腔體、真空泵和溫度控制器等。對(duì)于制作一些金屬薄膜及非金屬薄膜，它是一款物美價(jià)廉的實(shí)驗(yàn)幫手。
一、設(shè)備優(yōu)勢(shì)：
1、采用原裝德國(guó)進(jìn)口納米噴頭，噴頭采用高低壓轉(zhuǎn)換霧化設(shè)計(jì)，使液態(tài)分子極精細(xì)，且不影響藥水效果；
2、鋨存儲(chǔ)器可拆卸：具有密封式結(jié)構(gòu)，可冷凍保存；
3、理論設(shè)計(jì)產(chǎn)能3000片-4000片/小時(shí)；
4、噴嘴運(yùn)動(dòng)速度及輸送線速度均可調(diào)，顯著提高生產(chǎn)效率，滿足各種用戶需求；
5、控制噴涂藥量，提高藥水的霧化能力，使膜層與玻璃能均勻的結(jié)合，提高產(chǎn)品噴涂的均勻性，增大膜層表面爽滑度；
6、采用雙等離子處理，鍍膜前對(duì)工件進(jìn)行清潔處理，降低工件本身附帶的雜質(zhì)，使玻璃表面與膜層發(fā)生附和反應(yīng)，提高膜層結(jié)合的牢固度，提升產(chǎn)品的抗老化以及耐摩擦能力，使鍍膜品質(zhì)更高；
7、自動(dòng)化控制，鍍膜時(shí)只需設(shè)定薄膜厚度，鍍膜過程自動(dòng)完成；
8、恒定流量控制系統(tǒng)，保證藥水平穩(wěn)恒定的供流，而非波浪線式供流，解決白霧現(xiàn)象；
9、鍍膜時(shí)間短：只需幾秒鐘膜厚就可以達(dá)到納米級(jí)；
10、裝有互鎖回路：一但OsO4氣體進(jìn)入腔體，真空不達(dá)標(biāo)，腔體就無法打開。
二、鋨等離子鍍膜儀的優(yōu)點(diǎn)：無放電，無晶粒，無熱損傷
1、無晶粒:形成非晶態(tài)金屬鍍層；
2、無熱損傷:涂層在室溫下進(jìn)行；
3、無電子束損傷:鋨的熔化溫度為2700℃。
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