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有關(guān)磁控濺射鍍膜機(jī)的主要優(yōu)勢介紹

來源:科睿設(shè)備有限公司   2021年12月27日 14:40  
       磁控濺射鍍膜機(jī)是一種普適鍍膜機(jī),用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系??慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其他化學(xué)反應(yīng)膜,亦可鍍鐵磁材料。主要用于實(shí)驗(yàn)室制備有機(jī)光電器件的金屬電極及介電層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。
  磁控濺射鍍膜機(jī)主要優(yōu)勢:
  1、實(shí)用性:
  1.1、設(shè)備集成度高,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,可以放置于實(shí)驗(yàn)桌面上即可;
  1.2、通過更換設(shè)備上下法蘭可以實(shí)現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換,實(shí)現(xiàn)一機(jī)多用;
  2、方便性:
  2.1、設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接線及安裝調(diào)試簡單,既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性;
  2.2、設(shè)備可將主機(jī)置于手套箱內(nèi),水、電、氣等通過4個(gè)KF40接口接到手套箱外,與手套箱的對接靈活方便;
  2.3、設(shè)備工作電壓為220V,整機(jī)功率小于2KW,對實(shí)驗(yàn)室的供電要求低;
  3、穩(wěn)定性:
  3.1、設(shè)備主要零部件采用進(jìn)口或國內(nèi)品牌,保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性;
  磁控濺射鍍膜機(jī)設(shè)備安裝條件:
  1、供電要求
  1.1、設(shè)備供電總功率≤2KW,220V,單相三線制(一火一零一地);
  1.2、插座距離設(shè)備尺寸≤2m;
  1.3、其它:如用戶選配冷卻循環(huán)水機(jī)或其它選購件,用戶自行準(zhǔn)備增配件的供電要求,不在安裝條件范圍內(nèi);
  2、供水要求
  2.1、設(shè)備需水冷的部件有磁控靶、膜厚儀探頭(如選配膜厚控制系統(tǒng));
  2.2、水壓0.2~0.4MPa,水溫10~25℃;
  3、安裝場地大小要求
  設(shè)備尺寸為:長×寬:L60cm×W60cm,建議安裝場地尺寸≥L60×W80cm。

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